Poly-Si hasított gyűrűk

A poli-Si hornyolt gyűrűket általában a fejlett félvezető maratóberendezés reakciókamrájába szerelik be. Szinergikusan működnek a szilícium alkatrészekkel, beleértve a szilíciumot isfókuszgyűrűk, szilikon külső gyűrűk és szilíciumzuhanyfejek. Ezek az alkatrészek stabil és optimális reakciókörnyezetet hozhatnak létre a maratási folyamathoz, biztosítva a kiválórézkarca pontosság és a folyamat következetessége.

A Semicorex poly-Si hornyolt gyűrűk funkciói

1. A Semicorex poly-Si hornyolt gyűrűk több, egyenletesen elosztott résszel vannak felszerelve, amelyek gázjáratként szolgálnak, amelyek lehetővé teszik a folyamat gázainak egyenletes elszívását a reakció után.

2. A Semicorex poly-Si hornyolt gyűrűk kiváló plazmaszabályozást képesek elérni, megbízható védelmet nyújtva a félvezető maratóberendezések reakciókamrája számára.

3. A Semicorex poly-Si hornyolt gyűrűk segíthetnek az elektromos mező és a kamranyomás beállításában, így megakadályozzák, hogy az instabilitás befolyásolja a maratási folyamat konzisztenciáját.

Magas színvonalú anyagválasztás

A Semicorex poly-Si hornyolt gyűrűk kiváló minőségű polikristályos szilíciumból készülnek, amelynek tisztasága meghaladja a 99,9999%-ot, ami a következő kiváló tulajdonságokkal ruházza fel őket.

1. Ultra-nagy tisztaságú és rendkívül alacsony szennyezőanyag-tartalom.

2. Kivételes plazma korrózióállóság.

3. Kedvező elektromos tulajdonságok, ellenállás egyenletességgel: RRG ≤ 5%, kis felbontású. (<0,02), középső felbontás (1–4) és nagy felbontású (70–90).

Gyártási képességek és minőségellenőrzés

A fejlett megmunkáló berendezésekkel és tapasztalt műszaki csapattal felszerelt Semicorex szigorúan ellenőrzi az egyes gyártási folyamatokat, és kiváló minőségű és jól illeszkedő poli-Si hornyolt gyűrűket kínál tisztelt vásárlóinknak. Ezenkívül a Semicorex szigorú ellenőrzést végez a kész poli-Si hornyolt gyűrűk méretmérése, ellenállás-vizsgálata és szemrevételezése felett, hogy megbizonyosodjon az olyan hibáktól, mint a forgácsok, karcolások, repedések és foltok.