Porózus sic chuck

A Semicorex porózus SIC Chuck egy kerámia rész, amelyet pontosan összeállítottak a SAFER szubsztrátok biztonságos, hatékony kezelésére a félvezető alkalmazásokhoz, olyan folyamat lépései révén, mint az ellenőrzés, a tesztelés és a litográfia. A Chuckot mikro-porózus szilícium-karbid kerámia (SIC) gyártják. A SIC mechanikai szilárdságával, kémiai ellenállásával és hőstabilitási tulajdonságaival rendelkezik a élvonalbeli félvezető gyártási környezetéhez.

A porózus SIC Chuck alapvető jellemzője az egyedi mikroszerkezet, amely 35%-40%porozitást mutat. A Chuck szorosan ellenőrzött porozitása mellett a felülmúló kialakítás lehetővé teszi a vákuumszívás egyenletes adagolását a Chuck-on, amely következetes stabil és nem érintkezési támogatást generál a tipikusan finom ostya szubsztrátokhoz: szilícium vagy Gan, és más összetett félhondok.  A vákuum szívási mód elkerüli a részecskék szennyeződését és a mechanikai károsodást, ezáltal megőrizve az ostya integritását a folyamat során.

A chuck kerámia teste elsősorban magas tisztaságú, más kerámiákkal, például alumínium -oxiddal (AL2O3), potenciálisan korlátozott számú funkcionális rétegre használják az alkalmazástól függően. Az anyag kutatása és fejlesztése lehetővé teszi a pórus méretének és eloszlásának kezelését a légáram és a tartóerő megtervezéséhez, az ostya méretétől és a folyamat körülményeitől függően. Ha fontos a vákuum ellenőrzése a vékonyabb ostyákon, akkor kisebb pórusméret kerül beépítésre. A gyorsabb áramlási sebességhez adott esetben a nagyobb pórusméretet fogják használni.

A porózus sic chucks színváltozást mutat a változó pórusméretek, kerámia kompozíciók és égetési körülmények eredményeként. A SIC chucks általában fekete vagy sötét szürke, mivel a szilícium-karbid színe vagy szürke vagy fekete, bár a nagy alumínium-oxid tartalommal rendelkező chucks általában off-fehér színű. A színbeli eltérések nem befolyásolják a termék teljesítményét, és csak azokat a tervezett tulajdonságokat képviselik, amelyeket az adott alkalmazásokhoz létrehoztak, hogy megfeleljenek a konkrét vevői igényeknek.

A csúcskategóriás ostyafeldolgozó szerszámokban a hőstabilitás és a kémiai tehetetlenség a két legfontosabb tulajdonság. A szilícium -karbid kiválóan ellenáll a korróziógázoknak és a termikus kerékpározásnak. A porózus sic chuck sikeresen vákuumkamrákban és plazma marató szerszámokban működik, és továbbra is jól működik a gyorsan változó hőmérsékletekkel. A dimenziós stabilitás fenntartásának képessége biztosítja, hogy az ostya ugyanabban a helyen maradjon, annak ellenére, hogy a pontossági követelmények a szubmikron alatt lehetnek, attól függően, hogy a dimenziós stabilizált folyamat hozzájárul a pontossághoz.

A Semicorex porózus sic chuck -okat meghatalmazott formázási és szinterációs eljárásokkal készítik, amelyek egyenletes porozitást, nagy hajlító szilárdságot és alacsony termikus tágulást biztosítanak. Mindegyik Chuck -ot megvizsgálják a pórusszerkezet, a sík és a vákuumteljesítmény szempontjából a megbízható és megismételhető termék biztosítása érdekében. Az egyéni tervek szintén rendelkezésre állnak a ostya méretének és a rendszerintegrációs követelményeknek, például a hátsó oldali gázáram-csatornáknak vagy a szerelési funkcióknak a befogadására.

Összegezve: a porózus SIC Chuck egy nagy megbízhatósági szubsztrát -támogató rendszer, amelyet gondosan úgy terveztek, hogy a precíziós ostya feldolgozásának követelményeivel együtt dolgozzon. Magas vákuumtartási képességgel, testreszabható pórusszerkezetgel és kiemelkedő anyagstabilitással elengedhetetlen termék a mai félvezető gyártási vonalakban.