Porózus SiC vákuum tokmányok

Semicorex porózus SiCvákuum tokmányoknélkülözhetetlen alkatrészek, amelyek széles körben használhatók a fejlett félvezető gyártási folyamatokban, mint például az ostya vékonyítása, kockázás, köszörülés, polírozás, fotolitográfia, maratás. Adszorpciós platformjuk egy porózus SiC kerámia lemezből áll, számos egyenletesen elosztott mikronméretű pórussal. Az állandó pórusátmérővel és kivételes áttörési sebességgel a Semicorex porózus SiC vákuumtokmányok sima gázutat biztosítanak a vákuum evakuálásához. Működés közben stabil és egyenletes negatív nyomás keletkezik a tokmány és az ostya között, ami lehetővé teszi a nagy hatékonyságú vákuum befogást és a félvezető lapkák kioldását.

A Semicorex porózus SiC vákuumtokmány előnyei 

1. Kivételes feldolgozási pontosság

A fejlett félvezetőgyártás során feldolgozott félvezető lapkák rendkívül vékonyak, így még enyhe hajlítás, vibráció vagy egyenetlen helyi feszültség is a lapka töréséhez, vetemedéséhez és a pontosság csökkenéséhez vezethet olyan kritikus folyamatokban, mint a litográfia. Semicorexporózus SiCA vákuumos tokmányok feldolgozása nagy pontosságú csiszolással és polírozással történik, így Ra ＜ 0,1 μm tökéletes felületi érdesség érhető el. Ez lehetővé teszi a Semicorex porózus SiC vákuumtokmányok számára, hogy optimalizált működési felületet biztosítsanak a nagy pontosságú félvezetőgyártáshoz.

2. Magas tisztaság és magas korrózióállóság

A félvezetők szigorú tisztasági előírásainak maradéktalan teljesítése érdekében a Semicorex porózus SiC vákuumtokmányokat gyárt nagy tisztaságú szilícium-karbid nyersanyagokból, magas hőmérsékletű szinterezéssel. Ez biztosítja, hogy a tokmány mentes legyen a részecskéktől és a vándorló fémszennyeződésektől. A SiC kiváló kémiai stabilitását kihasználva a Semicorex porózus SiC vákuumtokmányok képesek ellenállni a zord korróziós környezetnek, és nem termelnek extra melléktermékeket, így kiválóan alkalmasak a kiváló minőségű tiszta félvezető gyártási folyamatokra.

3. Kiváló tartósság és hosszú távú stabilitás

A gyártósorokon használt vákuumos tokmányoknak több ezer adszorpciós és felszabadulási ciklust, valamint hosszú távú hőmérséklet-ingadozást kell kibírniuk. Ez rendkívül magas követelményeket támaszt a vákuumtokmányok anyagteljesítményével szemben. A Semicorex porózus SiC vákuumtokmányok kiemelkedő anyagkeménységgel és kopásállósággal rendelkeznek, valamint stabil hőtágulást mutatnak. Nem mutatnak kúszást vagy teljesítményromlást magas hőmérsékleti körülmények között, ami jelentősen meghosszabbítja az élettartamukat, és csökkenti az alkatrészek karbantartási és cseréi gyakoriságát.