Eljárási cső diffúziós kemencékhez

A diffúziós kemencékhez való Semicorex technológiai cső jellemzően nagy tisztaságú SiC-ből készül, CVD SiC bevonattal. Ezeket az anyagokat a kiváló hőstabilitásuk, valamint a korrozív gázokkal és a magas hőmérséklettel szembeni ellenállásuk miatt választották ki.

A diffúziós kemencékhez való Semicorex technológiai cső henger alakú, zárt és nyitott véggel. Behelyezik a diffúziós kemencébe, egy lezárt kamrát képezve, ahol a diffúziós folyamat végbemegy. A csövet gondosan úgy tervezték, hogy megakadályozza a gázok szivárgását, és szabályozott légkört tartson fenn a kemencében.

a diffúziós kemencékhez való technológiai cső döntő szerepet játszik a félvezető eszközök gyártásában. Ellenőrzött környezetet biztosít a diffúziós folyamatokhoz, biztosítva az egységes adalékolási profilokat és a folyamatparaméterek pontos szabályozását. A nagy tisztaságú anyagok használata és a gondos tervezési megfontolások segítenek megőrizni a technológiai cső integritását és biztosítják a kiváló minőségű félvezető lapkák előállítását.