Termékek

A Semicorex szilícium-karbid szilícium-karbid vákuumtokmányok precíziós kerámia lapkatartó alkatrészek, amelyeket nagy pontosságú félvezető-feldolgozásra terveztek, és kivételes hőstabilitást, kiváló laposságot és ultra-tiszta vákuum-adszorpciós teljesítményt kínálnak. A Semicorex a fejlett SiC anyagtechnológiát, a precíziós megmunkálási képességet és a szigorú félvezető-minőség-ellenőrzést ötvözi, hogy rendkívül megbízható vákuumtokmány-megoldásokat kínáljon ügyfeleinek világszerte.*

A kiváló minőségű porózus szilícium-karbid kerámiákból készült Semicorex porózus SiC vákuumtokmányok a nagy pontosságú ostyabefogó szerszámok, amelyeket kifejezetten vékony és törékeny lapkák tiszta, sérülésmentes kezelésére terveztek. Ha a Semicorexet választja, akkor az optimális szeletrögzítési és pozicionálási megoldásokat élvezheti a legmodernebb félvezetőgyártási folyamatokhoz.

A félvezető minőségű, nagy tisztaságú kvarcanyagokból készült Semicorex nagy tisztaságú olvasztott kvarctégelyek a kritikus tartályok a legmodernebb félvezetőgyártásban. A Semicorex nagy tisztaságú olvasztott kvarctégelyek az ideális kvarc megoldások, amelyeket kifejezetten a magas hőmérsékletű egykristályos kemencékben az egykristályos szilícium növekedési folyamatához terveztek.

A Semicorex porózus tantál-karbid kerámia a nagy teljesítményű porózus kerámia, amelyet kifejezetten a fizikai gőzszállítási (PVT) eljáráshoz terveztek. Különleges porózus szerkezete és kiváló tulajdonságai fontos szerepet játszanak a kiváló minőségű szilícium-karbid kristálynövekedés elősegítésében. A Semicorex választásával ideális porózus kerámia megoldásokat kap, állandó minőséggel és stabil teljesítménnyel a fejlett félvezetőgyártáshoz.

A Semicorex kerámia fókuszgyűrűk félvezetőhöz CVD SiC anyagokból készült nagy teljesítményű gyűrűalkatrészek, amelyeket kifejezetten nagy intenzitású plazmamaratási környezetekhez terveztek. A Semicorex a félvezető CVD SiC kerámia fókuszgyűrűk iparágvezető gyártója, várjuk érdeklődését.

A Semicorex poly-Si külső gyűrűk maratáshoz poli-szilícium anyagokból készült, precíziósan megmunkált gyűrűrészek. Kifejezetten a fejlett maratóberendezések elektródarendszereihez tervezett Semicorex poli-Si külső gyűrűk maratáshoz hatékonyan biztosítják a maratási folyamat stabilitását. A Semicorex választása azt jelenti, hogy kiváló minőségű poli-Si külső gyűrűket kap a maratáshoz, amely növelheti az ostya hozamát és a működési hatékonyságot.