Robot End Effector

A Semicorex a szilícium-karbid bevonatú grafit, precíziósan megmunkált nagy tisztaságú grafit vezető, független tulajdonú gyártója, amely a szilícium-karbid bevonatú grafit, szilícium-karbid kerámia és a félvezetőgyártás MOCVP területeire összpontosít. Robot End Effectorunk jó árelőnnyel rendelkezik, és számos európai és amerikai piacot lefed. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.

Kérdés küldése

termékleírás

A Robot End Effector a robot keze, amely félvezető lapkákat mozgat az ostyafeldolgozó berendezések és a hordozók pozíciói között. A Robot End Effectornak méretpontosnak és termikusan stabilnak kell lennie, miközben sima, kopásálló felülettel kell rendelkeznie, hogy biztonságosan kezelje az ostyákat anélkül, hogy károsítaná az eszközöket vagy részecskeszennyeződést okozna. A nagy tisztaságú szilícium-karbid (SiC) bevonat Robot End Effector kiváló hőállóságot, egyenletes termikus egyenletességet biztosít az egyenletes epiréteg vastagság és ellenállás érdekében, valamint tartós vegyszerállóságot biztosít.

A Robot End Effector paraméterei

A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi
SiC-CVD tulajdonságai
Kristályszerkezet	FCC β fázis
Sűrűség	g/cm³	3.21
Keménység	Vickers keménység	2500
Szemcseméret	μm	2~10
Kémiai tisztaság	%	99.99995
Hőkapacitás	J kg-1 K-1	640
Szublimációs hőmérséklet	℃	2700
Felexurális Erő	MPa (RT 4 pontos)	415
Young's Modulus	Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃)	430
Hőtágulás (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Hővezetőképesség	(W/mK)	300