SiC csónak ostyakezeléshez

A kivételes tisztaságú szilícium-karbidból készült Semicorex SiC Boat for Wafer Handling olyan konstrukcióval büszkélkedhet, amely precíziós nyílásokkal rendelkezik az ostyák rögzítésére, csökkentve a műveletek során bekövetkező mozgásokat. A szilícium-karbid anyagként való megválasztása nemcsak keménységet és rugalmasságot biztosít, hanem azt is, hogy ellenáll a magas hőmérsékletnek és a vegyszereknek való kitettségnek. Emiatt a SiC Boat for Wafer Handling kulcsfontosságú elemévé válik számos félvezető-gyártási szakaszban, mint például a kristályok termesztése, diffúziója, ionbeültetése és maratása.

Kérdés küldése

termékleírás

A páratlan szilárdság/tömeg arány és kiváló hővezető tulajdonságok révén a Semicorex SiC Boat for Wafer Handling további javítási folyamaton megy keresztül a CVD SiC bevonat révén. Ez a kiegészítő bevonatréteg megerősíti a feldolgozási környezet igénybevételével szembeni ellenálló képességét, és megvédi mind a kémiai lebomlástól, mind a hőingadozásoktól, jelentősen meghosszabbítva a működési élettartamát, és egyenletes teljesítményt biztosít a szigorú működési követelmények mellett.

Az olyan termikus műveleteknél, mint a lágyítás vagy diffúzió, a SiC Boat for Wafer Handling fontos szerepet játszik az egyenletes hőmérséklet-eloszlás elérésében az ostya felületén. Kiváló hővezető képessége elősegíti a hatékony hőeloszlást, csökkenti a hőkülönbségeket és elősegíti a folyamatok egységességét.

A Semicorex SiC Boat for Wafer Handling nagyra becsülik megbízhatóságát és kiemelkedő teljesítményét, amely megfelel a kortárs félvezetőgyártás szigorú követelményeinek. Mind a szakaszos, mind az egyedi ostyafolyamatokhoz való alkalmazkodóképességével a SiC Boat for Wafer Handling alapvető eszköze a félvezetőgyártó létesítményeknek, amelyek célja a kiváló termékszabványok és a maximális hozam elérése. A SiC Boat for Wafer Handling kulcsfontosságú szerepe mindkettő fenntartásában. az ostyák integritását és megbízhatóságát, széles körben alkalmazva a félvezetőgyártó berendezésekben, ipari eszközökben és cserealkatrészekként.