SiC konzolos lapát

A Semicorex SiC (szilícium-karbid) konzolos lapát kulcsfontosságú alkatrész, amelyet a félvezetőgyártási folyamatokban használnak, különösen a diffúziós vagy LPCVD-kemencékben (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition) olyan folyamatok során, mint a diffúzió és az RTP (Rapid Thermal Processing). Azt a célt szolgálja, hogy ostyákat tartson és szállítson ezen kemencék technológiai csövében.

A Semicorex SiC konzolos lapát elsősorban szilícium-karbidból áll, amely egy robusztus és termikusan stabil anyag, amely magas hőmérsékletnek ellenálló képességéről és kiváló mechanikai tulajdonságairól ismert. A SiC-t azért választották, mert képes ellenállni a félvezető kemencék magas hőmérsékletű folyamatkörnyezetében előforduló zord körülményeknek. A SiC konzolos lapát kialakítása lehetővé teszi, hogy belenyúljon a kemence folyamatcsövébe, miközben az egyik végén a csövön kívül szilárdan rögzítve van. Ez a kialakítás stabilitást és támogatást biztosít a feldolgozott ostyák számára, miközben minimálisra csökkenti a kemence belsejében lévő hőkörnyezet interferenciáját.

A SiC konzolos lapát célja, hogy a félvezető lapátokat biztonságosan szállítsa a folyamatcsőben különböző magas hőmérsékletű folyamatok során, mint például a diffúzió és az RTP. Robusztus felépítése biztosítja, hogy az e folyamatok során fellépő szélsőséges hőmérsékleteknek és kémiai környezeteknek lebomlás vagy meghibásodás nélkül ellenálljon. A SiC konzolos lapátokat úgy tervezték, hogy kompatibilisek legyenek az iparban általánosan használt félvezető lapátok méretű és alakú széles skálájával. Gyakran testreszabhatók, hogy megfeleljenek az adott kemencekonfigurációnak és a folyamatkövetelményeknek.