SIC konzolos lapátok

A Semicorex SIC konzolos lapátok nagy teljesítményű alkatrészek, amelyeket pontosan az ostya kezelésére és az ostya szállítására terveztek félvezető hőfeldolgozó berendezésekben (LPCVD, PECVD, oxidáció és diffúziós kemencék). Ezek a konzolos evezők platformot biztosítanak az ostyák számára, és a szükséges támogatási formát biztosítják, amely biztosítja a törékeny ostyák stabil és megbízható szállítását a kemény, magas hőmérsékletű folyamatok révén (gyakran meghaladja az 1200 ° C-ot). A konzolos evezőket nagy tisztaságú szilícium-karbidból (SIC) gyártják, amely mechanikai tartósságot, hőstabilitást és korróziógátló tulajdonságokat biztosít a félvezető gyártási környezethez.

A szilícium-karbid egy szuper-prémium kerámia anyag, kiváló termikus vezetőképességgel, alacsony termikus tágulással és a kémiailag ellenséges környezetben való megbízható teljesítmény képességével. A szilícium -karbid konzolos lapátokban segíthet csökkenteni

 és a mozgás, amely az ostyákat laposan és névleges feldolgozási helyzetükben tartja. Az ostya termikus stabilitása a konzolos lapátok összefüggésében fontos, hogy minimalizálják a részecske -szennyeződés és a mechanikus mozgás kérdéseit, különösen a fejlett csomópont -eszközök előállításakor. Ezek a kérdések hozamvesztést vagy költséges átdolgozást és ostyák cseréjét eredményezhetnek.

A SIC konzolos lapátok monolit formája javítja a mechanikai robusztusságot és a termikus egységességet, miközben kiküszöböli az ízületeket és a gyenge pontokat, amelyek jellemzően léteznek a kompozitokban. Ezenkívül a lapátok felületének felületét kifejezetten szabályozzák, és általában egy tükörminőségre csiszolják, hogy minimalizálják a részecskék generációját, és nagyon tiszta szoba-osztálynak megfelelőek.

Diffúziós és oxidációs folyamatokban, amelyek magukban foglalják az oxigént, a gőzt és más reaktív gázokat; A hagyományos anyagok az idő múlásával összeomlanak vagy deformálódhatnak. A SIC benne rejlő kémiai inert tulajdonsága biztosítja, hogy az evezők ne outgass legyenek, és nem korrodálódjanak, és az instabil anyagok felhasználása miatt szennyeződést vezetnek be, és hozzájárulnak a stabilabb folyamathoz és a megbízhatóbb eredményekhez.  A SIC konzolos lapátok szerkezeti integritása továbbra is stabil marad a fűtés és a hűtés gyors ciklusának ellenére. Ezért hosszú operatív élettartamot kínálnak, jelentősen csökkentett karbantartással vagy alkatrészek cseréjével.

Ezenkívül a SIC lapátok redukált tömege és könnyű tömege lehetővé teszi a gyorsabb termikus választ; Ezáltal lehetővé téve a gyorsabb termikus emelkedési és lehűlt időket, amelyek hozzájárulnak a megnövekedett termelékenységhez és az energiahatékonysághoz, az összes fő mutató a félvezető gyártás versenyképességében.

A SIC konzolos lapátok különféle konfigurációkban és méretben szállíthatók, amelyeket úgy terveztek és gyárthatnak, hogy különféle kemence mintákat és ostyaméreteket alkalmazzanak, 100 mm és 300 mm között. Az OEM-ek és a berendezés-integrátorok értékelik a SIC evezések következetességét és megbízhatóságát az idő múlásával, mind a front-end, mind a háttér-folyamatokban.

A Semicorex prémium SIC konzolos lapátokat kínál, amelyek szorosan szabályozzák az anyag tisztaságát, mikroszerkezetét és dimenziós tűréseit. Fejlett folyamat képességeink, a félvezető hőkezelési dinamika ismereteinkkel együtt, lehetővé teszik számunkra, hogy evezőket készítsünk ezekkel a tulajdonságokkal, amelyek megfelelnek vagy meghaladják az ipari stabilitást, a tisztaságot és a tartósságot. Ha helyesnek és megbízhatónak kell lennie, a Semicorex a hely a minőségi SIC alkatrészekhez.