SIC kerámia hajók

A Semicorex SIC kerámia hajók a legmodernebb fuvarozók, amelyeket kifejezetten a félvezető ostyák biztonságos szállítására, tárolására és feldolgozására terveztek a legigényesebb kémiai és termikusan szélsőséges környezetben. A félvezetőipar gyorsan elfogadott új teljesítményszabványokat, amelyek megkövetelték a SIC kerámia hajók számára, hogy megbízhatóan, bizalommal és szennyeződjenek a modern ostya-gyártási folyamatokkal szembeni intolerancia és kritikus igényeket.

Erős hőstabilitás és erő

A SIC kerámia hajók meghatározó tulajdonsága nagyon nagy hőstabilitás. A SIC kerámia hajók 1600 ° C -os hőmérsékletet viselhetnek anélkül, hogy az agresszív termikus kerékpáros folyamatok során elveszítenék alakjukat vagy szerkezetüket. Az ultra alacsony termikus tágulási együttható miatt a SIC kerámia hajók kevésbé hajlamosak a torzulásra és a repedésre, lehetővé téve a szoros toleranciákat és az ostya általános biztonságát a merev körülmények között történő kezelés során.

Nagy tisztaság és kémiai ellenállás

A SIC kerámia hajókat rendkívül magas tisztaságú szilícium-karbidból gyártják. A SIC kerámia hajók szintén nagyon ellenállnak a kémiai lebomlásnak, a korrozív és az erodáló plazmának. A SIC kerámia hajók inert jellege korrozív gázok, reaktív környezetek folyamatát jelenti, a savas állapotok vagy a hajó nem szennyeződése, vagy semmi oldódik a munkafolyamat károsítása érdekében. A SIC kerámia hajók nem szennyeződési felülete lehetővé teszi a részecské kialakulását vagy az ion kimosódását, így az ostyafelületet nem veszélyezteti az eszköz teljesítményét vagy hozamát akadályozó szennyeződések.

Precíziós tervezés a biztonságos ostyakezeléshez

A SIC kerámia hajókat szoros tűrésű toleranciákon belül gyártják, lehetővé téve számukra, hogy különféle átmérőjű ostyákat kezeljenek, beleértve 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm és még sok más. A SIC hajók szerkezeti kialakítása kiváló síkosságot, párhuzamosságot és egyenletes résméretet biztosít a megfelelő ostya -lepattanási tájolás fenntartásához és az ostya széleinek védelme érdekében, amikor egy másik folyamatba vagy szerszámba kerülnek. Az összes SIC -csónakot egyedi méretekkel lehet megtervezni, hogy megfeleljenek a szerszámkészletnek, vagy megfeleljenek az automatizálási előírásoknak.

Hosszú élettartam és költséghatékonyabb

A SIC a hagyományos anyagokat (kvarc, alumínium -oxid) helyettesíti jelentősen javított mechanikai szilárdsággal, törési szilárdsággal és termikus sokk ellenállással. Ez a tartósság szintje hosszabb élettartamot jelent a "kudarc előtt", szignifikánsan kevesebb pótlást jelent a működés közben, és alacsonyabb a tulajdonjog teljes költsége. A SIC tartósságától való teljesítmény következetessége csökkenti az időtartamokat és felgyorsítja a félvezető gyártási vonalak átviteli sebességét.

Nyissa meg az alkalmazásokat félvezető folyamatokban

A SIC kerámia hajókat széles körben használják a front-end félvezető folyamatokban, például:

LPCVD és PECVD lerakódás

Termikus oxidáció

Ion beültetés

Lágyítás és diffúzió

Ostya tisztítása és kémiai feldolgozása

A SIC kerámia fogantyúi kompatibilis feldolgozási alkalmazásokkal rendelkeznek mind a légkörben, mind a vákuumfolyamat -kamrákban, így ideális választás az öntödik és a Fabs számára, hogy minimalizálják és csökkentsék a szennyeződés kockázatát, miközben javítják a termelékenységet.