SiC kerámia vákuum tokmányok

A precíziós tervezésű mikrolyukak egyenletesen oszlanak el a SiC kerámia vákuumtokmányok felületén, lehetővé téve a megbízható csatlakozást a külső vákuumberendezéshez. Működés közben a vákuumszivattyú aktiválódik, hogy levegőt szívjon a lyukakon keresztül, negatív nyomású környezetet hozva létre a félvezető lapka és a vákuumtokmány között. Ez lehetővé teszi, hogy az ostya egyenletesen és szilárdan a vákuumtokmány felületén maradjon.

A Semicorex SiC kerámia vákuum tokmány előnyei

1. Prémium anyagválasztás

SemicorexSiC kerámia vákuum tokmányokgondosan válassza ki a nagy tisztaságú szilícium-karbidot nyersanyagként. A Semicorex szigorú anyagtisztaság-ellenőrzése hatékonyan megakadályozza az ostyák működés közbeni szennyeződések által okozott szennyeződését, így kielégíti a gyártási tisztaság és hozam iránti növekvő igényeket.

2. Finom megmunkálási pontosság

A Semicorex SiC kerámia vákuumtokmányok felülete tükörfényezésen esik át, síkságát 0,3-0,5 μm-re szabályozzák. Ez az extrém síkságszabályozás optimális érintkezési hatást tesz lehetővé, ami nagymértékben csökkenti a durva érintkezési felületek által okozott lapkakarcolások kockázatát. A vákuumtokmányok minden mikrolyuk és hornya precíziós megmunkálású, ezáltal stabil és egyenletes adszorpciós hatást biztosít a működés során.

3. Rugalmas testreszabási szolgáltatások

A Semicorex testreszabási szolgáltatásokat nyújt tisztelt ügyfeleinknek, különféle méretű SiC kerámia vákuumtokmányokat kínálva, mint például 6 hüvelykes, 8 hüvelykes, 12 hüvelykes. A mérettűréseket, a pórusméretet, a síkságot és az érdességeket az ügyfelek igényeinek megfelelően tudjuk testre szabni, így biztosítva a tökéletes illeszkedést a félvezető feldolgozó és ellenőrző berendezéseihez.

4. Kiváló tartósság és élettartam

SemicorexSiC kerámiaa vákuum tokmányokat izosztatikus préseléssel alakítják ki, majd magas hőmérsékleten szinterelik. Ezen speciális eljárások után a Semicorex SiC kerámia vákuum tokmányok többszörösen kiváló teljesítménnyel rendelkeznek, mint például a könnyű súly, a nagy merevség, az erős kopásállóság és az alacsony hőtágulási együttható. Ezek a tulajdonságok lehetővé teszik a Semicorex SiC kerámia vákuum tokmányok folyamatos üzemeltetését a félvezető lapkakezelés és feldolgozás nehéz körülmények között.