SiC bevonatú hordó szuszceptor az LPE növekedéséhez

Magas olvadáspontja, oxidáció- és korrózióállósága révén a Semicorex SiC bevonatú hordószuszceptor az LPE növekedéshez tökéletes választás egykristály-növekedési alkalmazásokhoz. Szilícium-karbid bevonata kivételes síkságot és hőelosztási tulajdonságokat biztosít, megbízható és egyenletes teljesítményt biztosítva még a legigényesebb, magas hőmérsékletű környezetben is.

Kérdés küldése

termékleírás

A Semicorex SiC bevonatú hordószuszceptor az LPE növekedéshez egy kiváló minőségű, nagy tisztaságú SiC bevonatú grafittermék, amelyet kifejezetten LPE folyamatokhoz és más félvezetőgyártási alkalmazásokhoz terveztek. Kivételes sűrűsége és hővezető képessége kiváló hőelosztást és védelmet biztosít magas hőmérsékletű és korrozív környezetben.

A Semicorexnél arra összpontosítunk, hogy kiváló minőségű, költséghatékony SiC bevonatú hordószuszceptort biztosítsunk az LPE növekedéséhez, kiemelten kezeljük az ügyfelek elégedettségét, és költséghatékony megoldásokat kínálunk. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk, kiváló minőségű termékeket szállítva és kivételes ügyfélszolgálattal.

A SiC bevonatú hordó szuszceptor paraméterei az LPE növekedéséhez

A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi
SiC-CVD tulajdonságai
Kristályos szerkezet	FCC Î² fázis
Sűrűség	g/cm³	3.21
Keménység	Vickers keménység	2500
Szemcseméret	Î¼m	2~10
Kémiai tisztaság	%	99.99995
Hőkapacitás	J·kg-1 ·K-1	640
Szublimációs hőmérséklet	℃	2700
Felexurális Erő	MPa (RT 4 pontos)	415
Young's Modulus	Gpa (4 pt kanyar, 1300º)	430
Hőtágulás (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Hővezető	(W/mK)	300

A SiC bevonatú hordó szuszceptor jellemzői az LPE növekedéséhez

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg jó sűrűségű, és jó védő szerepet játszhat magas hőmérsékleten és korrozív munkakörnyezetben.

- Az egykristály növesztéshez használt szilícium-karbid bevonatú szuszceptor nagyon magas felületi síksággal rendelkezik.

- Csökkentse a hőtágulási együttható különbségét a grafit szubsztrát és a szilícium-karbid réteg között, hatékonyan javítja a kötési szilárdságot a repedés és a rétegvesztés megakadályozása érdekében.

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.

- Magas olvadáspont, magas hőmérsékletű oxidációállóság, korrózióállóság.