A Semicorex SiC bevonatú hordószuceptor LPE-hez tökéletes választás egykristály-növekedési alkalmazásokhoz, köszönhetően kivételesen lapos felületének és kiváló minőségű SiC bevonatának. Magas olvadáspontja, oxidáció- és korrózióállósága ideális választássá teszi magas hőmérsékletű és korrozív környezetben való használatra.
Kivételes hőeloszlású és hővezető képességű grafit szuszceptort keres? Ne keressen tovább, mint az LPE-hez készült Semicorex SiC bevonatú hordó szuszceptor, amely nagy tisztaságú SiC-vel van bevonva a kiváló teljesítmény érdekében az LPE folyamatokban és más félvezetőgyártási alkalmazásokban.
A Semicorexnél arra összpontosítunk, hogy kiváló minőségű, költséghatékony termékeket biztosítsunk ügyfeleinknek. Az LPE-hez készült SiC bevonatú hordószuceptorunk árelőnnyel rendelkezik, és számos európai és amerikai piacra exportálják. Célunk, hogy az Ön hosszú távú partnere legyünk, állandó minőségű termékeket és kivételes ügyfélszolgálatot biztosítva.
SiC bevonatú hordó szuszceptor paraméterei LPE-hez
A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi |
||
SiC-CVD tulajdonságai |
||
Kristályos szerkezet |
FCC β fázis |
|
Sűrűség |
g/cm³ |
3.21 |
Keménység |
Vickers keménység |
2500 |
Szemcseméret |
μm |
2~10 |
Kémiai tisztaság |
% |
99.99995 |
Hőkapacitás |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Szublimációs hőmérséklet |
℃ |
2700 |
Felexurális Erő |
MPa (RT 4 pontos) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (4 pt kanyar, 1300º) |
430 |
Hőtágulás (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Hővezető |
(W/mK) |
300 |
SiC bevonatú hordó szuszceptor jellemzői LPE-hez
- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg jó sűrűségű, és jó védő szerepet játszhat magas hőmérsékleten és korrozív munkakörnyezetben.
- Az egykristály növesztéshez használt szilícium-karbid bevonatú szuszceptor nagyon magas felületi síksággal rendelkezik.
- Csökkentse a hőtágulási együttható különbségét a grafit szubsztrát és a szilícium-karbid réteg között, hatékonyan javítja a kötési szilárdságot a repedés és a rétegvesztés megakadályozása érdekében.
- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.
- Magas olvadáspont, magas hőmérsékletű oxidációállóság, korrózióállóság.