SiC bevonatú gázelterelő tárcsák

A Semicorex a fejlett félvezető minőségű anyagok és a legmodernebb gyártási technológiák kiváló példájaSiC bevonatúA gázelterelő tárcsákat precízen nagy tisztaságú grafitból gyártják, mátrixukként sűrű SiC bevonattal, kémiai gőzleválasztással. A gázelterelő tárcsákat elsősorban arra tervezték, hogy a reakciógázt egyenletesen osszák el az ostya felületén, hogy biztosítsák a teljes reakciót a feldolgozás során, megkönnyítve ezzel a konzisztens és egységes egykristályos vékony filmek kialakulását.

A Semicorex SiC bevonatú gázelterelő tárcsák előnyei

1.Magas anyagtisztaság

A Semicorex szigorú termékminőségi szabványokat tart be a gondos anyagválasztástól kezdve. A nyersanyag szigorú tisztasági ellenőrzésének köszönhetően a Semicorex SiC bevonatú gázelterelő tárcsák alacsony szennyeződést biztosítanak, és kiemelkedő tisztasággal büszkélkedhetnek. Ez jelentősen megakadályozhatja, hogy fémionok és egyéb szennyeződések veszélybe sodorják a félvezető epitaxiális folyamatait.

2. Kiváló termikus stabilitás

Az ezekben a rendszerekben használt alkatrészeknek kivételes hőstabilitással kell rendelkezniük, mivel a félvezető epitaxiális berendezések jellemzően 1400 °C feletti hőmérsékleten működnek. Ez a kivételes hőstabilitás biztosítja, hogy a Semicorex SiC bevonatú gázelterelő tárcsák ellenálljanak a kihívást jelentő magas hőmérsékletű üzemi körülményeknek, és hatékonyan megakadályozzák a magas hőmérséklet okozta szennyeződések működés közbeni felszabadulását, ami segít garantálni az epitaxiális lapkák minőségét és hozamát.

3. Figyelemre méltó magas hőmérsékletű korrózióállóság

A nem védett grafitmátrixok hajlamosak a korrózióra és a részecskeképződésre, ezért a gázelterelő tárcsákat általában szilícium-karbid bevonattal kezelik a korrózióállóság növelése érdekében. A sűrű SiC-bevonattal borított Semicorex SiC-bevonatú gázelterelő tárcsák kiváló oxidáció- és kémiai korrózióállóságot biztosítanak, ami lehetővé teszi, hogy hosszú élettartamon át egyenletesen működjenek még kihívást jelentő magas hőmérsékleti és korrozív működési körülmények között is.

4. Rugalmas testreszabási lehetőségek

A Semicorex számos fejlett feldolgozóberendezéssel van felszerelve, például CNC-megmunkáló berendezésekkel, felületi csiszológépekkel és ultrahangos fúróberendezésekkel, amelyek tapasztalt feldolgozási képességeket kínálnak. A Semicorex rugalmas testreszabási szolgáltatásokat tud nyújtani az ügyfél rajzai alapján, és személyre szabja a SiC bevonatú gázelterelő tárcsák méreteit, tűréseit, felületi síkságát, furatátmérőit és lyuktávolságát, hogy biztosítsa a zökkenőmentes kompatibilitást az ügyfelek epitaxiális berendezéseivel.