SiC bevonatú grafit szuszceptor MOCVD-hez

A Semicorex a szilícium-karbid bevonatú grafit szuszceptor nagyméretű gyártója és szállítója Kínában. A félvezetőiparra összpontosítunk, mint például a szilícium-karbid rétegekre és az epitaxiás félvezetőkre. SiC bevonatú grafit szuszceptorunk MOCVD-hez jó árelőnnyel rendelkezik, és számos európai és amerikai piacot lefed. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk.

Kérdés küldése

termékleírás

A Semicorex SiC bevonatú grafit szuszceptor a MOCVD-hez egy nagy tisztaságú szilícium-karbid bevonatú grafithordozó, amely a folyamat során az ostya chipen lévő epixiális réteget növeszti. Ez a MOCVD középső lemeze, a fogaskerék vagy a gyűrű alakja. A MOCVD-hez készült SiC bevonatú grafit szuszceptor nagy hő- és korrózióállósággal rendelkezik, amely rendkívül stabil extrém környezetben.
A Semicorexnél elkötelezettek vagyunk amellett, hogy kiváló minőségű termékeket és szolgáltatásokat nyújtsunk ügyfeleinknek. Csak a legjobb anyagokat használjuk, termékeinket úgy terveztük, hogy megfeleljenek a legmagasabb minőségi és teljesítménykövetelményeknek. Ez alól a MOCVD-hez készült SiC bevonatú grafit szuszceptorunk sem kivétel. Lépjen kapcsolatba velünk még ma, ha többet szeretne megtudni arról, hogyan tudunk segíteni a félvezető lapkák feldolgozásával kapcsolatos igényeinek kielégítésében.

A SiC bevonatú grafit szuszceptor paraméterei MOCVD-hez

A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi
SiC-CVD tulajdonságai
Kristályszerkezet	FCC β fázis
Sűrűség	g/cm³	3.21
Keménység	Vickers keménység	2500
Szemcseméret	μm	2~10
Kémiai tisztaság	%	99.99995
Hőkapacitás	J kg-1 K-1	640
Szublimációs hőmérséklet	℃	2700
Felexurális Erő	MPa (RT 4 pontos)	415
Young's Modulus	Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃)	430
Hőtágulás (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Hővezetőképesség	(W/mK)	300

A SiC bevonatú grafit szuszceptor jellemzői MOCVD-hez

- Kerülje a leválást, és gondoskodjon a bevonatról minden felületen
Magas hőmérsékletű oxidációállóság: Stabil magas hőmérsékleten 1600°C-ig
Nagy tisztaságú: CVD kémiai gőzleválasztással készült magas hőmérsékletű klórozási körülmények között.
Korrózióállóság: nagy keménység, sűrű felület és finom részecskék.
Korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
- A legjobb lamináris gázáramlási minta elérése
- Garantálja a hőprofil egyenletességét
- Kerülje el a szennyeződést vagy a szennyeződések diffúzióját