Szilícium-karbid bevonatú grafit szuszceptor MOCVD-hez

A Semicorex a szilícium-karbid bevonatú grafit szuszceptor megbízható szállítója és gyártója a MOCVD-hez. Termékünket kifejezetten a félvezetőipar igényeinek kielégítésére fejlesztettük ki az ostya chip epitaxiális rétegének növelésében. A terméket a MOCVD középső lemezeként használják fogaskerék- vagy gyűrű alakú kivitelben. Magas hő- és korrózióállósággal rendelkezik, így ideális extrém környezetben való használatra.

Kérdés küldése

termékleírás

A szilícium-karbid bevonatú grafit szuszceptorunk MOCVD-hez számos kulcsfontosságú tulajdonsággal rendelkezik, amelyek kiemelik a versenytársak közül. Biztosítja a bevonatot minden felületen, elkerülve a leválást, és magas hőmérsékletű oxidációval szemben ellenálló, stabilitást biztosít magas, akár 1600°C-os hőmérsékleten is. A termék nagy tisztaságú CVD kémiai gőzleválasztással, magas hőmérsékletű klórozási körülmények között készül. Sűrű, finom részecskéket tartalmazó felülete rendkívül ellenálló a sav, lúg, só és szerves reagensek okozta korrózióval szemben.
Szilícium-karbid bevonatú grafit szuszceptorunk MOCVD-hez úgy lett kialakítva, hogy a legjobb lamináris gázáramlási mintát érje el, biztosítva a hőprofil egyenletességét. Megakadályozza a szennyeződések vagy szennyeződések diffúzióját, így biztosítva a jó minőségű epitaxiális növekedést az ostya chipen.

Szilícium-karbid bevonatú grafit szuszceptor paraméterei MOCVD-hez

A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi
SiC-CVD tulajdonságai
Kristályos szerkezet	FCC Î² fázis
Sűrűség	g/cm³	3.21
Keménység	Vickers keménység	2500
Szemcseméret	Î¼m	2~10
Kémiai tisztaság	%	99.99995
Hőkapacitás	J·kg-1 ·K-1	640
Szublimációs hőmérséklet	℃	2700
Felexurális Erő	MPa (RT 4 pontos)	415
Young's Modulus	Gpa (4 pt kanyar, 1300º)	430
Hőtágulás (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Hővezető	(W/mK)	300

A szilícium-karbid bevonatú grafit szuszceptor jellemzői MOCVD-hez

- Kerülje a leválást, és gondoskodjon a bevonatról minden felületen
Magas hőmérsékletű oxidációállóság: Stabil magas hőmérsékleten 1600°C-ig
Nagy tisztaságú: CVD kémiai gőzleválasztással készült magas hőmérsékletű klórozási körülmények között.
Korrózióállóság: nagy keménység, sűrű felület és finom részecskék.
Korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
- A legjobb lamináris gázáramlási minta elérése
- Garantálja a termikus profil egyenletességét
- Kerülje el a szennyeződést vagy a szennyeződések diffúzióját