SiC diffúziós kemence cső

A Semicorex SiC diffúziós kemencecső fejlett anyagtulajdonságai, beleértve a nagy hajlítószilárdságot, a kiemelkedő oxidáció- és korrózióállóságot, a nagy kopásállóságot, az alacsony súrlódási együtthatót, a kiváló magas hőmérsékletű mechanikai tulajdonságokat és az ultra-nagy tisztaságot, nélkülözhetetlenné teszik a félvezetőiparban. , különösen diffúziós kemence alkalmazásokhoz. Mi, a Semicorex elkötelezett a nagy teljesítményű SiC diffúziós kemencecsövek gyártásával és szállításával, amelyek a minőséget a költséghatékonysággal ötvözik.**

Kérdés küldése

termékleírás

Nagy hajlítószilárdság: A Semicorex SiC diffúziós kemencecső 200 MPa-t meghaladó hajlítószilárdsággal büszkélkedhet, amely kivételes mechanikai teljesítményt és szerkezeti integritást biztosít a félvezetőgyártási folyamatokra jellemző nagy igénybevételi körülmények között.

Kiemelkedő oxidációs ellenállás: Ezek a SiC diffúziós kemencecsövek kiváló oxidációs ellenállást mutatnak, a legjobbat az összes nem oxidos kerámia közül. Ez a jellemző hosszú távú stabilitást és teljesítményt biztosít magas hőmérsékletű környezetben, csökkenti a károsodás kockázatát és meghosszabbítja a csövek élettartamát.

Kiváló korrózióállóság: A SiC diffúziós kemencecső kémiai tehetetlensége kiváló korrózióállóságot biztosít, így ezek a csövek ideálisak a félvezető feldolgozás során gyakran előforduló durva kémiai környezetben való használatra.

Nagy kopásállóság: a SiC diffúziós kemencecső rendkívül kopásálló, ami kulcsfontosságú a méretstabilitás megőrzésében és a karbantartási igények csökkentésében a kopásos körülmények között történő hosszan tartó használat során.

Alacsony súrlódási együttható: A SiC diffúziós kemencecső alacsony súrlódási együtthatója csökkenti mind a csövek, mind a lapkák kopását, biztosítva a zökkenőmentes működést és minimalizálva a szennyeződés kockázatát a félvezető feldolgozás során.

Kiváló magas hőmérsékletű mechanikai tulajdonságok: a SiC diffúziós kemencecső a legjobb magas hőmérsékletű mechanikai tulajdonságokat mutatja az ismert kerámia anyagok közül, beleértve a kiemelkedő szilárdságot és a kúszásállóságot. Ez különösen alkalmassá teszi az olyan alkalmazásokhoz, amelyek magas hőmérsékleten hosszú távú stabilitást igényelnek.

CVD bevonattal: A Semicorex Chemical Vapor Deposition (CVD) SiC bevonat 99,9995%-nál nagyobb tisztasági szintet ér el, 5 ppm alatti szennyeződésekkel és 1 ppm alatti káros fémszennyeződésekkel. A CVD bevonási eljárás biztosítja, hogy a csövek megfeleljenek a szigorú 2-3 Torr vákuumtömörségi követelményeknek, ami elengedhetetlen a nagy pontosságú félvezetőgyártási környezetekhez.

Alkalmazás diffúziós kemencékben: Ezeket a SiC diffúziós kemence csöveket kifejezetten diffúziós kemencékben való használatra tervezték, ahol kritikus szerepet játszanak a magas hőmérsékletű folyamatokban, mint például az adalékolás és az oxidáció. Fejlett anyagtulajdonságaik biztosítják, hogy ellenálljanak ezeknek a folyamatoknak a megerőltető körülményeinek, ezáltal növelve a félvezetőgyártás hatékonyságát és megbízhatóságát.