SiC ICP lemez

A Semicorex SiC ICP lemez szilícium-karbidból készül, amely kivételes fizikai és kémiai tulajdonságairól ismert. Robusztus jellege kiváló ellenállást biztosít a hősokkkal, oxidációval és korrózióval szemben, amelyek kritikus tényezők a félvezető feldolgozás zord környezetében. A SiC anyag használata jelentősen megnöveli a lemez élettartamát, csökkenti a cserék gyakoriságát, és ezáltal csökkenti a karbantartási költségeket és az állásidőt a gyártó létesítményekben.

A SiC ICP lemez döntő szerepet játszik a plazmamaratási és leválasztási folyamatokban, amelyek alapvetőek a félvezető lapkák létrehozásához. Ezen folyamatok során a SiC ICP lemez magas hővezető képessége és stabilitása biztosítja a pontos hőmérsékletszabályozást és a plazma egyenletes eloszlását, ami létfontosságú a konzisztens és pontos maratási és leválasztási eredmények eléréséhez. Ez a precizitás kritikus fontosságú az egyre miniatürizáltabb és összetettebb félvezető eszközök gyártásánál, ahol már a kisebb eltérések is jelentős teljesítményproblémákhoz vezethetnek.

A SiC ICP lemez egyik kiemelkedő tulajdonsága a kivételes mechanikai szilárdsága. A szilícium-karbid keménysége és merevsége kiváló szerkezeti integritást biztosít extrém körülmények között is. Ez a robusztusság stabilabb és megbízhatóbb teljesítményt jelent a nagy intenzitású plazmafolyamatok során, minimálisra csökkentve az alkatrészek meghibásodásának kockázatát és biztosítva a folyamatos, megszakítás nélküli működést. Ezenkívül az anyag könnyű súlya a hagyományos fém társaihoz képest hozzájárul a könnyebb kezeléshez és telepítéshez, tovább növelve a működési hatékonyságot.

Fizikai tulajdonságai mellett a SiC ICP lemez kiváló kémiai stabilitást biztosít. Figyelemreméltó ellenállást mutat a reaktív plazmafajták ellen, amelyek elterjedtek a félvezető maratási és leválasztási környezetben. Ez az ellenállás biztosítja, hogy a lemez hosszú ideig megőrizze integritását és teljesítményét, még a plazmafolyamatokban használt agresszív vegyszerek jelenlétében is. Következésképpen a SiC ICP lemez tisztább feldolgozási környezetet biztosít, csökkentve a félvezető lapkák szennyeződésének és hibáinak valószínűségét.