A Semicorex SIC csövek nagyteljesítményű szilícium-karbid kerámia alkatrészek, amelyeket félvezető kemence alkalmazásokhoz terveztek, kivételes termikus, mechanikai és kémiai stabilitást biztosítva az igényes folyamatkörnyezetekben. Válassza a Semicorex lehetőséget a precízióval megtervezett SIC csövekhez, amelyek biztosítják a következetes minőséget, a kiterjesztett élettartamot és a maximális kemence hatékonyságát.*
A Semicorex SIC csövek kerámia alkatrészek a félvezető kemence rendszerekhez. Egyedülálló tulajdonságokkal rendelkeznek, amelyek magukban foglalják a nagy hőátvitelt, valamint a magas hőmérsékleten és kémiai ellenállást, amelyre szükség van a félvezető alkalmazásokban, ahol vannak extrém magas hőmérsékletű és kémiai környezeti feltételek, amelyek várhatóak, és ahol a tulajdonságok kívánatos - tartósság, energiahatékonyság és egyedi stabil folyamatfeltételek -, amelyek lehetővé teszik a felhasználási lehetőségeket a fejlett félvezető gyártási környezetben.
Semicorex sic csövek nagy tisztaságú finomszemcséket használnakszilícium -karbidEzt úgy gyártják, hogy kivételes, magas hőmérsékletű mechanikai stabilitást biztosítson a fejlett szinterezési és átkristályosítási módszerek és technikák eredményeként. A nagy teljesítményű SIC engedélyezése kivételes mechanikai szilárdságot és a hőstabilitás visszatartását eredményezi magas üzemi hőmérsékleten. A SIC kivételes keménységgel rendelkezik, amely enyhíti a kopást vagy a potenciális deformációt. Ezenkívül a SIC tulajdonságokkal kapcsolatos attribútumok alacsony üzemanyag-termikus tágulási hatékonyságúak, mivel ezek korlátozzák a termikus feszültséget, mivel követelmények lesznek a szélsőséges magas és az alacsony működési hő között történő kerékpározáshoz. Mindezen megfontolásokban speciális hasznossággal rendelkeznek a diffúziós kemencékben, az oxidációs kemencékben és az LPCVD/PECVD rendszerekben az ideális alkalmazásokhoz, hogy a stabil folyamatfeltételek maximálisan fenntartsák azokat a hibákat, amelyek az ostya vagy anyaghoz kapcsolódó mutatók kiküszöbölése vagy korlátozása, rendkívül stabil, egyenletes folyamatfeltételekkel is.
A SIC csövek másik fontos hasznossága a magas hővezetési profilok meghatározott körülmények között és az alkalmazandó kemencek kialakításában, hogy magas vezetőképességet eredményezjenek, és alapvetően a hőmérséklet egyenletes és állandó eloszlása a folyamat során. Ez a megbízható viselkedés lehetővé teszi az ostyák számára, hogy ésszerű időközönként félig egyenlő hőmérséklet-eloszlásokat tegyenek ki, és emellett korlátozzák a hőgradienseket, hogy enyhítsék a lapos fenekű torzult és/vagy hibás ostyákat, miközben javítják az egyenletesebb film lerakódási körülményeit.
A kémiai stabilitás és az ellenállás egy másik fontos teljesítménytényező. A félvezető folyamatok során a kemencecsövet nagyon reaktív gázok, beleértve az oxigént, a hidrogént, az ammóniát és az összes halogénet, befolyásolják, amelyek gyors módon lebonthatják a hagyományos anyagokat. A sűrű és nem porózus mikroszerkezet, valamint a SIC kémiailag inert jellege megóvja azt az oxidációtól és a korrózióval szemben, miközben működési és mechanikai teljesítményt nyújt a szélsőséges folyamatkörnyezetben. A SIC kemencék tartóssága elősegíti számukra a forma és a dimenziós pontosság integritásának fenntartását hosszú ideig, ami fontos a folyamatvezérlés és a stabilitás szempontjából.
A SIC csöveket széles méretű és falvastagságú, geometriailag alakú, kemencek tervezéséhez és feldolgozási igényeinek megfelelő tartományban lehet előállítani. A pontos precíziós megmunkálási jellemzőket a SIC csövek tervezése és előállítása során is fenntartják, hogy a működési tűrésűek szűkek legyenek, sima belső felületekkel és kiváló koncentrikussággal a lamináris gázáramlás és az egységes hőt profilok egyensúlyának fenntartása érdekében. A felületi polírozás és a bevonatok olyan kezelési lehetőségekként biztosíthatók, amelyek javítják a teljesítményt azáltal, hogy csökkentik a részecskék előállítását és javítják a korrózióállóságot.
A SIC -csövek egyértelmű működési és költség -előnyei vannak az alternatív anyagokhoz képest, mint például a kvarc vagy az alumínium -oxid. A SIC alkatrészek kezdeti költsége kissé magasabb lehet, de a termék élettartama, a törés csökkentése és az alacsonyabb karbantartási követelmények a tulajdonosi költségek teljes költségét eredményezik, amely alacsonyabb költségek, mint az alternatív anyagok és a csövek.
Összefoglalva: SemicorexSicA csövek a legjobb megoldás a félvezető kemence alkalmazásokhoz, mivel ezek biztosítják a legjobb hőteljesítményt, mechanikai szilárdságot, kémiai ellenállást és megbízhatóságot az igényes termelési környezetben. Ez az anyag javítja a folyamat stabilitását, és segíti a közúti költségmegtakarítást és a hatékonyságot (azaz alacsonyabb energiafogyasztást). A SIC csövek alapvető anyag a modern félvezető gyártáshoz.