Sic robot kezek

A Semicorex SIC robot kezek a legújabb a robotikus ostyaátviteli alkalmazásokhoz tervezték a félvezető gyártás területén. Nagyteljesítményű anyagokból készültek, és ezeket a robotkezeket szilikon karbid (SIC) kerámiával készítettük, hogy maximális termikus táblázatot, kémiai stabilitást és mechanikai szilárdságot biztosítsanak a ostya gyártásának vagy kezelésének egyre nehezebb környezetéhez.

A SIC robot kezünkben központi szerepet játszik a mi szabadalmaztatott fejlesztésünkszilícium -karbidMagas keménységéről (MOHS 9), nagy hővezető képességről és korrózióállóságról ismert. A hagyományos anyagokkal ellentétben, például az alumínium vagy a rozsdamentes acélból, a SIC kompatibilis a félvezető tisztítószobák kemény feldolgozási környezettel, beleértve a feldolgozott magas hőmérsékleteket és a reaktív gázokat. Hosszú távú tartósságot kínálunk és minimalizáljuk a szennyeződést, összhangban a ostya gyártásához szükséges szigorú tisztasággal.

A SIC robot kezével ellátott félvezető berendezés negatív nyomásszívást használ az ostya előállításához, azaz a félvezető ostyát a kvarcon vagy a kerámia ujján adszorbeálják a szívópoharak elvével, amelyet a szállító, a forgó és az emelési mozdulatokkal történő szállítással történő szállítás követ.

A "nagy sebességű" és a "tisztaság" a félvezető ostyakezelő berendezések alapjellemzői. Ezen jellemzők teljesítése érdekében a berendezés rendkívül szigorú követelményekkel rendelkezik a felhasznált alkatrészek teljesítményére. Mivel a legtöbb eljárást vákuumban, magas hőmérsékleten és korrozív gázkörnyezetben hajtják végre, a berendezésben használt kezelőkarnak kiváló fizikai tulajdonságokkal kell rendelkeznie, például: magas mechanikai szilárdság, korrózióállóság, magas hőmérséklet -ellenállás, kopásállóság, nagy keménység, szigetelés stb., És a fejlett kerámia anyagok csak megfelelhetnek ezeknek a feltételeknek.

Szilícium karbid kerámiaA sűrű textúra, a magas keménység, a nagy kopásállóság, valamint a jó hőállóság, a kiváló mechanikai szilárdság, a jó szigetelés, a jó hőmérsékletű környezetben, a jó korrózióállóság és más fizikai tulajdonságok fizikai tulajdonságai vannak. Kiváló anyag a félvezető berendezések kezelésére szolgáló karok készítéséhez.

Felismerve, hogy a robotplatformok a Fabs és a szerszámgyártók között változnak, a SIC robot kezünk számos szabványos méretben kapható, és testreszabható az egyedi szerszámkonfigurációkhoz. A rögzítő interfészek, az ujj geometriák és az ostya -támogatási funkciók testreszabhatók a meghatározott berendezések és folyamatigények kielégítésére. Függetlenül attól, hogy a fürtszerszámokon, a vákuumkamrákon vagy a FOUP rendszereken belüli ostyákat továbbít, a robot kezünk zökkenőmentesen integrálódik a vezető robotikai márkákhoz.

Minden SIC robot kéznél szigorú tisztításon, ellenőrzési és csomagolási eljárásokon megy keresztül, hogy biztosítsák az 1. osztályú tiszta szoba szabványok betartását. A SIC nem porózus, anti-statikus felülete csökkenti a részecskék adhéziót, míg a robusztus szerkezet ellenáll a mikrotöréseknek, amelyek az idő múlásával a részecskék generálásához vezethetnek. Ez ideálissá teszi őket a front-end ostya folyamatokhoz, ahol még a legkisebb szennyeződés is az eszköz meghibásodásához vezethet.

Az epitaxiától és az ion beültetésétől a PVD -ig, a CVD -ig és a CMP -ig a SIC Robot Hands a félvezető eszköz gyártásának minden lépésében megbízható. A termikus sokkkal és a plazmakörnyökkel szembeni kiváló ellenállásuk nélkülözhetetlenné teszi őket a fejlett logikában és a teljesítményű félvezető vonalakban, különösen a SIC ostya szubsztrátok használatakor.