A Semicorex SIC csövek szilícium-karbid-kemencecsövek, amelyeket félvezető magas hőmérsékleti folyamatokhoz terveztek, kiváló hőstabilitással és kémiai korrózióállósággal. A Semicorex nagy tisztességes nyersanyagok, a precíziós gyártási folyamatok és a hosszú távú megbízhatósági garanciák kiválasztása, hogy szilárd támogatást nyújtson a félvezető gyártási folyamatához.*
A Semicorex SIC csövek (SIC kemencecsövek) olyan prémium alkatrészek, amelyeket a félvezető iparban erősen használnak, ideális hőstabilitásuk, mechanikai szilárdságuk és az agresszív vegyi anyagokkal szembeni szélsőséges ellenállás miatt számos alkalmazásban. A Semicorex SIC csöveket úgy tervezték, hogy túléljék a magas hőmérsékletű feldolgozással kapcsolatos legnehezebb körülményeket. A SIC csövek egyértelműen az előnyben részesített és kiváló anyagok a diffúziós kemencék, az LPCVD/PECVD rendszerek és az epitaxiális növekedéshez használt környezetben, amelyben az anyagszennyezés és a hőkülönbség kulcsfontosságú szempontok.
A Semicorex SIC csöveket az ultra-magas tisztaságú porokból gyártják, fejlett szinterelési módszertant és folyamatvezérlési technikákat alkalmazva, amelyek megőrzik a SIC tisztaságát. Ennek eredményeként a SIC csövek optimális hővezető képességgel rendelkeznek, alacsony hőtágulási tulajdonságokkal rendelkeznek, és súlyuk a cső hossza mentén eloszlik, hatékonyan minimalizálva a termikus feszültséget, még akkor is, ha a gyors termikus ciklusnak vannak kitéve. Így a SIC csövek használata nagy tiszteletet biztosít a folyamatos magas hőmérsékleti folyamatok során (legfeljebb 1600 ° C-ig)-ezáltal biztosítva a félvezető gyártási folyamatok egységességét, javítva az általános hatékonyságot a következetes skálákon.
A SIC elsődleges előnye, hogy kémiailag inert. A SIC gyakorlatilag nem porózus (az ASTM-G654 GP-4 osztályozásnak megfelelően) és felülmúlhatatlan, amikor a félvezető fejlesztés során alkalmazott ellenállású korrozív gázok és reaktív vegyi anyagok vonatkoznak, beleértve a HCL, NH₃, SIH₄ stb. Szolgáltatási idő, miközben minimalizálja az áteresztési lassulást a csőváltozásokhoz és a pótlásokhoz kapcsolódóan. A félvezető gyártásának legfontosabb előnyei egyértelműek; A SIC csövek használata a tulajdonjog teljes költségét hetekre vagy akár hónapokkal csökkentheti, miközben megőrzi a megbízhatóságot, mivel az ipari folyamatokhoz kapcsolódik.
A Semicorex SIC csövek számos átmérőjű, hosszúságú és egyedi specifikációt tartalmaznak a különféle kemencek kialakításának és feldolgozási követelményeinek megfelelően. A belső felületek csiszolhatók, ami javítja a tisztaságot, csökkenti a részecskék generálását, és fontos részlet az ultra-tiszta félvezető terekben. A Semicorex SIC csövek használata elősegítheti a szennyeződés kockázatának csökkentését, és hozzájárulhat a szigorú tűrésű és a jobb felületminőség fokozott megnövekedett ostyahozamához.
A Semicorex SIC szakértelme magában foglalja a szilícium -karbid -feldolgozást, amelynek célja a pontos mérnöki és minőség -ellenőrzés, hogy megfeleljen a félvezető ipar szigorú és igényes minőségi előírásainak. Csöveinket megvizsgáljuk és validáljuk ellenőrzésekkel, amelyek kritikusak a tisztaság, a sűrűség és a legszélsőségesebb termikus környezetben történő teljesítmény biztosítása érdekében. A SemICOREX műszaki támogatást és egyedi tervezési lehetőségeket is biztosít a kemencarendszer optimalizálásában az adott alkalmazásokhoz.
Akár a gyártási logikai chipek, az elektromos készülékek vagy az optoelektronika, a Semicorex SIC csövek megbízható, tartós lehetőséget kínálnak a magas hőmérséklet -feldolgozáshoz. A Semicorex kiválasztásával nemcsak a hatékonyságot biztosítja, hanem a félvezető gyártásának hosszabb távú stabil, hatékony eljárását is.