SIC vákuumcsuklók

FélkapóSzilícium -karbidA SIC vákuumcsomók csúcstechnikai kerámiaszerszámok, amelyek célja a félvezető ostyák biztonságos és megbízható tartása a precíziós anyag eltávolítási folyamatok során. Az ultra-tiszta, magas hőmérsékletű és kémiailag kemény környezetben történő felhasználásra tervezték őket. A SIC vákuumcsukkok elősegítik a ostya kiemelkedő adszorpcióját és az igazítást. A Semicorex SIC vákuumfürdők nagy tisztaságú szilícium -karbid kerámiából készülnek, hogy kiváló mechanikai szilárdságot, hővezető képességet és kémiai tartósságot biztosítsanak.

A vákuumfürdő fő feladata az, hogy egyenletes szívást húzzanak az ostya felületén, hogy az ostya stabil legyen a folyamatok során, például ellenőrzés, lerakódás, maratás és litográfia során. A tipikus vákuumfürtöknek problémái vannak a részecské generációjával, a megfárasztással vagy a kémiai romlással az idő múlásával. A szélsőséges félvezetői gyártási körülmények között a SIC vákuum-chucks kiváló hosszú távú tartósságot és stabilitást biztosít.

A szilícium -karbid anyagokat keménységük, hőstabilitásuk és alacsony termikus tágulási együtthatójuk nagyra értékelik. Ezek az anyagok dimenziósan stabilak maradnak a hőmérsékletek széles tartományában, lehetővé téve a hőstabilitást és a jobb folyamat pontosságát anélkül, hogy az ostya termikus eltérése lenne. Magas hővezető képességük lehetővé teszi a gyors hőeloszlását is, ami hasznos a gyors hőkezelt felgyorsult körülmények között vagy a nagy energiájú plazmák rövid expozíciójában.

A SIC kerámia nemcsak termikus és mechanikai előnyei vannak, hanem ellenállnak a plazma korróziójának és az agresszív folyamatgázoknak is. Ez a szolgáltatás miatt a SIC vákuumcsuklók különösen kedvezővé teszik a száraz maratás, CVD és PVD folyamatokhoz, ahol a kvarc vagy az alumínium -nitrid anyagok felhasználásukkal lebomlanak. A SIC kémiai tehetetlensége elősegíti a szennyeződés korlátozását és a szerszám üzemidejének javítását.

Annak érdekében, hogy kiváló teljesítményt nyújtson. A Semicorex készíti a SIC vákuumcsuklókat, és rendkívül szoros tűréseket ad ki az ultra-lapos felületekkel, amelyek csatornaszerkezetekkel vannak ellátva a mikron frissítésében. Ezekkel a tulajdonságokkal az ostya támogatását nyújtja pontos szívási és folyamatos szívási régióval az ostya támogatására, csökkentve a lánc vagy maguk az ostyák törésének esélyét. Az egyéni tervezési szolgáltatások különféle ostyaméretekhez (2 "12") is rendelkezésre állnak, különböző alkalmazásokban.

Mivel a magasabb hozam, a folyamatvezérlés és a megbízhatóság tényezők, a SIC vákuumcsukók a következő generációs félvezető berendezések új alapvető elemei. A SIC vákuumcsomók alkalmazása közvetlenül a hozamnövekedéshez, a berendezések megbízhatóságához és a feldolgozás ellenőrzéséhez kapcsolódik.