Sic függőleges hajók

A Semicorex SIC függőleges csónakok olyan ostyahordozókat terveztek, amelyeket úgy terveztek és gyártanak, hogy a legmagasabb hő-, gépi és kémiai stabilitást biztosítsák a függőleges kemence félvezető feldolgozásához. Magas tisztaságból építettszilícium -karbidÚgy gondoljuk, hogy ezek a legjobban az erősség, a tartósság és a tisztaság egyensúlya a nagyon fejlett ostya -termikus feldolgozáshoz, amelyet oxidációnak, diffúziónak, LPCVD -nek és a vertikális kemence rendszerekben lágyítanak.

A vertikális kemencefeldolgozó környezetekhez olyan ostya-tartó rendszert igényelnek, amely magas hőmérsékleten ellenáll az ismételt expozícióknak, gyakran meghaladja az 1200 ° C-ot, és szennyeződés problémái nélkül is dimen-szionálisan stabil marad. A SIC függőleges hajók kiemelkednek robusztusságukban ezekben a helyzetekben, az átkristályosodott vagy CVD szilícium -karbid belső mechanikai és termikus tulajdonságai miatt. Rendkívül alacsony hőtágulási együtthatójuk biztosítja a gyors hőkezelés miatt minimális lánctalp vagy torzulást. Ezenkívül a nagy hővezetőképesség a legnagyobb helyi hőmérsékleti homogenitást kínálja az összes ostyán, ami kritikus fontosságú a ostya-waker konzisztenciája szempontjából a réteg vastagságában, a dopping profilokban és az elektromos teljesítményben; A nagy volumenű gyártás fontos szempontjai a félvezető iparban.

A hagyományos kvarc csónakokkal összehasonlítva a SIC függőleges hajók kiváló mechanikai erőt és meghosszabbított élettartamot biztosítanak. A kvarc az idő múlásával törékeny és devitrifikációvá válik, különösen az agresszív kemence -vegyszerekben, ami magasabb pótlási költségeket és potenciális termelési megszakításokat eredményez. Ezzel szemben a szilícium -karbid fenntartja integritását még a korrozív gázok, például a klór, a HCl vagy az ammónia hosszan tartó expozíciója után, amelyek gyakoriak a különféle diffúziós és LPCVD folyamatokban. Kivételes kopás- és oxidációs ellenállása jelentősen csökkenti a részecskék generálását, segítve a ostyafelületek védelmét a szennyeződéstől és a hibás képződéstől.

A SIC függőleges hajók szintén jelentős előnyt jelentenek az ultra-tiszta feldolgozás szempontjából. A nagy tisztaságú SIC anyagot szigorú szorgalom alatt dolgozják fel az azonosítható nyomkérdő fémek csökkentése érdekében, amelyek zavarhatják a félvezető eszközök működési jellemzőit. A SIC függőleges hajófelületei jól elkészültek a jobbszögű funkciókkal, amelyek minimalizálják a mikrotikkek eloszlatásának esélyét. A SIC felületek kémiailag inertek, és nem reagálnak a folyamatgázokkal, ezért kevésbé hajlamosak a szennyeződésre. Ebben a tekintetben a SIC függőleges hajók jól alkalmazhatók a vonal elülső végéhez (Feol) és a vonal hátsó végéhez (Beol) ostya -feldolgozási műveletekhez.

A SIC függőleges hajók szintén rugalmasságot kínálnak. Mindegyik függőleges hajó tervezés-specifikus lehet a több ostya átmérőjének (150 mm, 200 mm vagy 300 mm-es ostya) befogadására, és a résszám és a távolság felhasználható a folyamatkövetelmények kielégítésére. A precíziós megmunkálás és a dimenziós vezérlés lehetővé teszi az ostya megfelelő igazítását és az ostya támogatását, amely minimalizálja a mikrotörések vagy stressz repedések valószínűségét a terhelés, a feldolgozás és a kirakodás során. Továbbá, ha egy adott folyamathoz kiváló hőmérsékleti egységesség és / vagy kevésbé hőtömegre van szükség, akkor az optimalizált geometriákat és a slot -terveket beépíthetjük a SIC függőleges hajókonfigurációiba, anélkül, hogy bármilyen mechanikai tulajdonságot feláldoznának.

További előnye a karbantartás és az üzemeltetési hatékonyság. A merev felépítéseSicA függőleges hajók csökkentik a csere időt és a gyakoriságot, ezáltal minimalizálva a leállási időt vagy a tulajdonjog költségeit. A SIC termikus sokk -ellenállása lehetővé teszi a rövidebb fűtési és hűtési ciklusokat, hogy nagyobb teljesítményt nyújtsanak a gyártósorokon. A SIC függőleges hajók karbantartása vagy tisztítása szintén nagyon egyszerű; Az anyag elviselheti a félvezető fabok, például a savakkal ellátott kémiai tisztítás és a magas hőmérsékletű sütés leggyakoribb nedves vagy vegytisztítási folyamatait.

A kifinomult félvezető gyártás ebben a modern korában, ahol a hozam javulása, a szennyeződés ellenőrzése és a folyamat stabilitása minden jelentőséggel bír, a SIC függőleges hajók valódi technológiai előnyt kínálnak. Jól foglalkoznak a vertikális kemence alkalmazások fizikai és kémiai kihívásaival, és hozzájárulnak az általános folyamat optimalizálásához az ostya integritásának, a következetes eredmények és a berendezések hosszabb élettartamának biztosítása révén.