SiC függőleges csónakok

A Semicorex SiC Vertical Boats olyan tervezett ostyahordozók, amelyeket úgy terveztek és gyártottak, hogy a legmagasabb hő-, mechanikai és kémiai stabilitást biztosítsák a függőleges kemencés félvezető-feldolgozáshoz. Nagy tisztaságú anyagból készültszilícium-karbid, úgy gondoljuk, hogy ezek jelentik a legjobb egyensúlyt az erő, a tartósság és a tisztaság között a nagyon fejlett ostya hőfeldolgozáshoz, amelyet oxidációként, diffúzióként, LPCVD-ként és izzításként említenek függőleges kemencerendszerekben.

A függőleges kemencés feldolgozási környezetekhez olyan ostyatartó rendszerre van szükség, amely ellenáll az ismétlődő expozícióknak magas, gyakran 1200 °C-ot meghaladó hőmérsékleten, és szennyeződési problémák nélkül méretstabil marad. Az átkristályosított vagy CVD szilícium-karbid belső mechanikai és termikus tulajdonságai miatt a SiC függőleges csónakok robusztusságukkal tűnnek ki ezekben a helyzetekben. Rendkívül alacsony hőtágulási együtthatójuk minimális vetemedést vagy torzulást biztosít a gyors hőciklus miatt. Ezenkívül a nagy hővezető képesség a legnagyobb helyi hőmérsékleti homogenitást kínálja az összes ostya között, ami kritikus fontosságú a rétegvastagság, az adalékolási profilok és az elektromos teljesítmény tekintetében az ostyák közötti konzisztencia szempontjából; a nagy volumenű gyártás fontos szempontjai a félvezetőiparban.

A hagyományos kvarccsónakokhoz képest a SiC Vertical Boats kiváló mechanikai szilárdságot és hosszabb élettartamot biztosít. A kvarc idővel törékennyé és üvegtelenné válik, különösen az agresszív kemencékben, ami magasabb csereköltségekhez és potenciális termelési megszakításokhoz vezet. Ezzel szemben a szilícium-karbid megőrzi integritását még akkor is, ha hosszan tartó korrozív gázoknak, például klórnak, HCl-nek vagy ammóniának van kitéve, amelyek gyakoriak a különböző diffúziós és LPCVD eljárásokban. Kivételes kopás- és oxidációs ellenállása nagymértékben csökkenti a részecskeképződést, segít megóvni az ostyafelületeket a szennyeződéstől és a hibák kialakulásától.

A SiC Vertical Boats az ultra-tiszta feldolgozás szempontjából is jelentős előnyt kínál. A nagy tisztaságú SiC anyagot szigorú gondossággal dolgozzák fel, hogy csökkentsék az azonosítható nyomokban szennyező fémeket, amelyek megzavarhatják a félvezető eszközök működési jellemzőit. A SiC Vertical Boat felületek jól kidolgozottak, derékszögű jellemzőkkel, amelyek minimalizálják a mikrorészecskék leválásának esélyét. A SiC felületek kémiailag semlegesek, és nem lépnek reakcióba a technológiai gázokkal, ezért kevésbé hajlamosak a szennyeződésre. Ebből a szempontból a SiC Vertical Boats kiválóan alkalmas a sor front end of line (FEOL) és a back end of line (BEOL) lapkafeldolgozási műveletekhez.

A SiC függőleges csónakok tervezési rugalmasságot is kínálnak. Mindegyik függőleges csónak tervezési specifikus lehet, hogy több szelet átmérőjű (150 mm, 200 mm vagy 300 mm ostya) is elférjen, és a résszám és a távolság felhasználható a folyamatkövetelmények teljesítéséhez. A precíziós megmunkálás és a méretszabályozás lehetővé teszi a lapka megfelelő beállítását és a lapka alátámasztását, minimalizálva a mikrokarcok vagy feszültségrepedések valószínűségét a betöltés, feldolgozás és kirakodás során. Továbbá, ha egy adott folyamathoz kiváló hőmérséklet-egyenletesség és/vagy kisebb termikus tömeg szükséges, optimalizált geometriák és réskialakítások beépíthetők a SiC Vertical Boat konfigurációkba anélkül, hogy bármilyen mechanikai tulajdonságot feláldoznánk.

További előny a karbantartás és az üzemeltetés hatékonysága. A merev felépítéseSicA Vertical Boats csökkenti a csere idejét és gyakoriságát, ezáltal minimalizálja az állásidőt vagy a birtoklási költségeket. A SiC hősokkállósága rövidebb fűtési és hűtési ciklusokat tesz lehetővé, hogy nagyobb teljesítményt biztosítson a gyártósorokon. A SiC Vertical Boats karbantartása vagy tisztítása is nagyon egyszerű; az anyag elviseli a legtöbb hagyományos nedves vagy száraz tisztítási eljárást, ami a félvezető szöveteknél megszokott, mint például a savakkal végzett vegyszeres tisztítás és a magas hőmérsékletű kiütés.

A kifinomult félvezetőgyártás modern korában, ahol a hozamjavítás, a szennyeződés ellenőrzése és a folyamat stabilitása a legfontosabb, a SiC Vertical Boats valódi technológiai előnyt kínál. Jól kezelik a függőleges kemencealkalmazások fizikai és kémiai kihívásait, és hozzájárulnak az általános folyamatoptimalizáláshoz azáltal, hogy szeleteket épek, egyenletes eredményeket és hosszabb élettartamot biztosítanak.