Szilícium -karbid hajók

A Semicorex szilícium -karbid -csónakok kivételes hőstabilitást mutatnak, lehetővé téve számukra, hogy ellenálljanak az oxidációs és diffúziós folyamatokhoz szükséges szélsőséges hőmérsékleteknek. Kiváló termikus sokk -ellenállásuk minimalizálja a repedés vagy a deformáció kockázatát, biztosítva a hosszabb működési hosszú élettartamot. A nagy sűrűségű SIC-összetétel kiváló mechanikai szilárdságot biztosít, fenntartva a szerkezeti integritást még folyamatos hőkezelés esetén is. Ez a mechanikai feszültséggel szembeni kivételes ellenállás csökkenti az ostya szennyeződésének és törésének valószínűségét, hozzájárulva a magasabb folyamathozamhoz. Ezenkívül a SIC hajók kiemelkedő kémiai ellenállással rendelkeznek, és az oxidációs és diffúziós lépésekhez használt agresszív folyamatgázok felé maradnak. Ez a tulajdonság megakadályozza a nem kívánt reakciókat, amelyek veszélyeztethetik az ostya tisztaságát és a termelés hatékonyságát.

A szilícium -karbid -csónakokat elsősorban oxidációs és diffúziós kemencékben használják, ahol elengedhetetlen a magas hőmérsékletek és reaktív gázoknak való kitettség pontos ellenőrzése. Támogatják az ostyákat a termikus oxidáció során, hogy kiváló minőségű szilícium-dioxidrétegeket termeljenek, és megkönnyítsék az egyenletes doppingot az adalékanyag-gázok ellenőrzött expozíciója révén. Ezenkívül stabil platformot biztosítanak az izzításhoz és más, magas hőmérsékleti kezelésekhez, amelyek hosszan tartó hő expozíciót igényelnek.

A hagyományos kvarc- és grafithajókhoz képest a szilícium -karbid hajók páratlan tartósságot, hosszú élettartamot és teljesítményt kínálnak. Az a képességük, hogy ellenálljanak a szigorú termikus és kémiai környezeteknek, miközben minimalizálják a szennyeződést, ez a nagy pontosságú félvezető gyártás preferált választása. A minőségre és az innovációra összpontosítva, a szilícium -karbid -csónakok kiváló teljesítményt nyújtanak, biztosítva a magas hozamokat és az ostya hatékony feldolgozását a félvezető gyártók számára világszerte. Akár fejlett csomópont -technológiák, akár örökölt félvezető gyártás esetén, ezek a hajók megbízható megoldást kínálnak a szigorú ipari követelmények teljesítésére.

(1) Hordozás és védelem: A szilícium -karbid -hajók félvezető anyagokat, például ostyákat szállítanak a belső konzolokon vagy réseken keresztül, és a szilícium -karbid anyagok magas hőmérsékleti és korrózióállóságát használják, hogy megvédjék az ostyákat a külső környezettől.

(2) Egységes fűtés: A szilícium -karbid -hajó lehetővé teszi, hogy az ostyák egyenletesen melegítsék a hőkezelési folyamat során. Ez elősegíti annak biztosítását, hogy az ostya egyes részeinek hőmérséklete és reakciósebessége a hőkezelési folyamat során következetes maradjon, ezáltal javítva a ostya hozamát és minőségét.

Jelenleg három fő típusúszilícium -karbid kerámiaAnyagok: reakció -szinterelés, nyomás nélküli szinterelés és átkristályosítási szinterezés. A legtöbb alkalmazásban a reakció-szinterelt szilícium-karbid megfelelő és költséghatékonyabb termék. Az átkristályosított SIC-hajók általában szinter és feldolgozzák először több egységrészt, majd Si Paste segítségével kombinálják az alkatrészeket egy csónakba magas hőmérsékleten, és végül alkalmazzák a CVD-SIC bevonatot (kb. 100um). Mivel az átkristályosítás porózus, ha nincs SIC bevonat, akkor részben bevezeti a félvezető folyamatba. Az ilyen típusú átkristályosított SIC-csónak CVD-SIC bevonattal a leghosszabb gyártási folyamata és nagyon drága. A SIC bevonatú grafit csónakokkal összehasonlítva a CVD-SIC bevonatú átkristályosított SIC-hajóknak nincs CTE-eltérési problémája.