Szilícium-karbid kazettás csónakok

Semicorexszilícium-karbid kazettás csónakoka nélkülözhetetlen hordozóelemek, stabil és nagy szilárdságú szerkezetükkel biztonságosan és precízen tartják, szállítják és kezelik a több félvezető lapkát. Széles körben használják a különböző magas hőmérsékletű félvezető eljárásokban, hogy biztosítsák az optimalizált hő- és gázáramlás-eloszlást a következetes feldolgozási eredmények érdekében.

Gondosan válogatott alapanyag

A precízen félvezető minőségű szilícium-karbid porból magas hőmérsékletű szinterezéssel előállított Semicorex szilícium-karbid kazettás csónakok a következő kiváló tulajdonságokkal rendelkeznek.

1. Ultra-nagy tisztaságú:A szubsztrát szennyezőanyag-tartalmát 100 PPM alá kell szabályozni, és a szennyeződés szintjétCVD szilícium-karbida bevonat 1 PPM-nél kevesebbet érhet el.

2. Megbízható korrózióállóság:A szilícium-karbid kerámia erős korrózióállóságot biztosít, és ellenáll a legtöbb sav (például sósav, kénsav és hidrogén-fluorid), lúgok (például marónátron), oldószerek és oxidáló közegek korróziójának.

3.Kivételes hőkezelési kapacitás:Kivételes hőállósággal és alacsony hőtágulási együtthatóval a szilícium-karbid kazettás csónakok megőrzik kémiai tulajdonságaikat és mechanikai szilárdságukat, még akkor is, ha hosszan tartó üzemi körülményeknek vannak kitéve, 1250 °C körüli magas hőmérsékleten.

Precíziós tervezésű szerkezet

1. Vízszintes keretszerkezet:A Semicorex szilícium-karbid kazettás csónakok vízszintes vázszerkezete tökéletesen illeszkedik a vízszintes, magas hőmérsékletű kemencecsövekhez.

2. Egyenletes résbevágások:A számos, egyenletesen elhelyezett résbevágással a Semicorex szilícium-karbid kazettás csónakok szilárdan a helyükön tudják tartani az ostyát, ami jelentősen meggátolja az ostya elmozdulásából adódó nem kívánt karcolásokat, horzsolásokat és sérüléseket, így hatékonyan biztosítja a félvezető folyamat stabilitását és a lapka hozamát.

3. Többhelyes kialakítás:A több ostya szállítására tervezett több rés lehetővé teszi a Semicorex szilícium-karbid kazettás csónakok egy tételes feldolgozási teljesítményének és általános gyártási hatékonyságának javítását.

4. Nyílt architektúra:A Semicorex szilícium-karbid kazettás csónakok átgondolt nyitott architektúrával vannak felszerelve, amely elősegíti az egyenletes gázeloszlást és a megfelelő reakciókontaktust, ami hatékonyan minimalizálja az inkonzisztens folyamatok eredményeit.