A Semicorex az Ön partnere a félvezető-feldolgozás fejlesztésében. Szilícium-karbid bevonataink sűrűek, magas hőmérséklet- és vegyszerállóak, amelyeket gyakran használnak a félvezetőgyártás teljes ciklusában, beleértve a félvezető lapkák és lapkák feldolgozását és a félvezető gyártást.
A nagy tisztaságú SiC kerámia alkatrészek kulcsfontosságúak a félvezető folyamatokban. Kínálatunk az ostyafeldolgozó berendezések fogyóeszköz-alkatrészeitől, például szilícium-karbid ostyahajótól, konzolos lapátoktól, csövektől stb. terjed az Epitaxy vagy MOCVD számára.
A félvezető eljárások előnyei
A vékonyréteg-lerakódási fázisoknak, mint például az epitaxia vagy a MOCVD, vagy az ostyakezelési folyamatoknak, mint például a maratás vagy az ionimplantáció, el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást. A Semicorex nagy tisztaságú szilícium-karbid (SiC) konstrukció kiváló hőállóságot és tartós vegyszerállóságot, egyenletes termikus egyenletességet biztosít az egyenletes epiréteg vastagság és ellenállás érdekében.
Kamrafedelek →
A kristálynövekedéshez és az ostyakezeléshez használt kamrafedeleknek el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást.
Konzolos lapát →
A konzolos lapát kulcsfontosságú alkatrész, amelyet a félvezetőgyártási folyamatokban használnak, különösen a diffúziós vagy LPCVD kemencékben olyan folyamatok során, mint a diffúzió és az RTP.
Process Tube →
A Process Tube kulcsfontosságú alkatrész, amelyet kifejezetten különféle félvezető-feldolgozási alkalmazásokhoz terveztek, mint például az RTP, a diffúzió.
Ostyahajók →
A Wafer Boat-ot félvezető-feldolgozásban használják, és aprólékosan megtervezték, hogy a finom ostyák biztonságban legyenek a gyártás kritikus szakaszaiban.
Bemeneti gyűrűk →
SiC bevonatú gázbevezető gyűrű MOCVD berendezéssel A vegyületnövekedés magas hő- és korrózióállósággal rendelkezik, amely rendkívül stabil extrém környezetben.
Fókuszgyűrű →
A Semicorex kellékei A szilícium-karbid bevonatú fókuszgyűrű igazán stabil RTA, RTP vagy durva vegyszeres tisztításhoz.
Ostya Chuck →
A Semicorex ultra-lapos kerámia vákuum ostyatokmányok nagy tisztaságú SiC bevonattal vannak ellátva az ostyakezelési folyamat során.
A Semicorexnek vannak kerámiatermékei alumínium-oxidból (Al2O3), szilícium-nitridből (Si3N4), alumínium-nitridből (AIN), cirkónium-dioxidból (ZrO2), kompozit kerámiából stb.
A Semicorex PBN fűtőberendezések kifinomult, háromrétegű dizájnjukkal büszkélkedhetnek, amelyet úgy terveztek, hogy újradefiniálja a teljesítmény mércéit. A magja egy nagy tisztaságú pirolitikus bór-nitridből (PBN) készült alap, amely kivételes hővezető képességéről és robusztus szerkezeti integritásáról híres. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex Wafer Boat Carrier az innováció csúcsa a félvezető-feldolgozás területén. A grafitból aprólékosan kidolgozott és a legmodernebb kémiai gőzfázisú leválasztás (CVD) szilícium-karbid (SiC) bevonattal megerősített hordozó a precíziós tervezést és a fejlett anyagtudományt példázza. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex Baffle Wafer Boat egy rendkívül fejlett berendezés, amelyet a félvezető-feldolgozásban használnak. Gondosan megtervezték, hogy a finom ostyák biztonságban legyenek a gyártás kritikus szakaszaiban. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC vákuumtokmány a precíziós tervezés csúcsát képviseli az igényes félvezetőipar számára. A grafit szubsztrátumokból készült és a legmodernebb kémiai gőzleválasztási (CVD) technikákkal továbbfejlesztve ez az innovatív eszköz zökkenőmentesen integrálja a szilícium-karbid (SiC) bevonat páratlan tulajdonságait. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC Wafer Chuck a félvezetőgyártás innovációjának csúcsa, és kulcsfontosságú eleme a félvezetőgyártás bonyolult folyamatának. Az aprólékos precizitással és a legmodernebb technológiával készült tokmány nélkülözhetetlen szerepet játszik a szilícium-karbid (SiC) lapkák támogatásában és stabilizálásában a gyártás különböző szakaszaiban. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseSemicorex Zirconia ZrO2 Robot Arm, a félvezető feldolgozás létfontosságú összetevője a zökkenőmentes ostyaátvitelhez és kezeléshez. A magas hőmérsékletű, korrozív és koptató környezet szigorú követelményeinek elviselésére kialakított kerámiakar páratlan tartóssággal és megbízhatósággal büszkélkedhet. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldése