A Semicorex az Ön partnere a félvezető-feldolgozás fejlesztésében. Szilícium-karbid bevonataink sűrűek, magas hőmérséklet- és vegyszerállóak, amelyeket gyakran használnak a félvezetőgyártás teljes ciklusában, beleértve a félvezető lapkák és lapkák feldolgozását és a félvezető gyártást.
A nagy tisztaságú SiC kerámia alkatrészek kulcsfontosságúak a félvezető folyamatokban. Kínálatunk az ostyafeldolgozó berendezések fogyóeszköz-alkatrészeitől, például szilícium-karbid ostyahajótól, konzolos lapátoktól, csövektől stb. terjed az Epitaxy vagy MOCVD számára.
A félvezető eljárások előnyei
A vékonyréteg-lerakódási fázisoknak, mint például az epitaxia vagy a MOCVD, vagy az ostyakezelési folyamatoknak, mint például a maratás vagy az ionimplantáció, el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást. A Semicorex nagy tisztaságú szilícium-karbid (SiC) konstrukció kiváló hőállóságot és tartós vegyszerállóságot, egyenletes termikus egyenletességet biztosít az egyenletes epiréteg vastagság és ellenállás érdekében.
Kamrafedelek →
A kristálynövekedéshez és az ostyakezeléshez használt kamrafedeleknek el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást.
Konzolos lapát →
A konzolos lapát kulcsfontosságú alkatrész, amelyet a félvezetőgyártási folyamatokban használnak, különösen a diffúziós vagy LPCVD kemencékben olyan folyamatok során, mint a diffúzió és az RTP.
Process Tube →
A Process Tube kulcsfontosságú alkatrész, amelyet kifejezetten különféle félvezető-feldolgozási alkalmazásokhoz terveztek, mint például az RTP, a diffúzió.
Ostyahajók →
A Wafer Boat-ot félvezető-feldolgozásban használják, és aprólékosan megtervezték, hogy a finom ostyák biztonságban legyenek a gyártás kritikus szakaszaiban.
Bemeneti gyűrűk →
SiC bevonatú gázbevezető gyűrű MOCVD berendezéssel A vegyületnövekedés magas hő- és korrózióállósággal rendelkezik, amely rendkívül stabil extrém környezetben.
Fókuszgyűrű →
A Semicorex kellékei A szilícium-karbid bevonatú fókuszgyűrű igazán stabil RTA, RTP vagy durva vegyszeres tisztításhoz.
Ostya Chuck →
A Semicorex ultra-lapos kerámia vákuum ostyatokmányok nagy tisztaságú SiC bevonattal vannak ellátva az ostyakezelési folyamat során.
A Semicorexnek vannak kerámiatermékei alumínium-oxidból (Al2O3), szilícium-nitridből (Si3N4), alumínium-nitridből (AIN), cirkónium-dioxidból (ZrO2), kompozit kerámiából stb.
A Semicorex szilícium-karbid szelep létfontosságú eleme a különféle ipari alkalmazásoknak, páratlan korrózióállóságot, hőmérséklet-állóságot és mechanikai rugalmasságot kínál. Alkalmas a petrolkémiai ipartól a biogyógyszerészetiig, hatékony és megbízható működést biztosítva még a legnagyobb kihívást jelentő környezetben is.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex PBN elektrosztatikus tokmánya egyedülálló anyagtulajdonságai révén kiemelkedik a félvezetőgyártás szeletkezelési területén.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex által bemutatott szilícium-nitrid henger gáznyomással szinterezett szilícium-nitridből (Si3N4), egy nagy teljesítményű kerámia anyagból készült.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC forgó tömítőgyűrűt úgy tervezték, hogy magas nyomáson és magas hőmérsékleten is működjön. Stabilitása és tartóssága ilyen környezetben felbecsülhetetlen értékű összetevővé teszi a tömítési alkalmazásokban, ahol a hagyományos anyagok meghibásodhatnak.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC Robot Arm egy nagy teljesítményű szilícium-karbid kerámia robotkar, amelyet a félvezetőgyártási folyamatok pontosságára és tartósságára terveztek. Válassza a Semicorex-et, hogy szakértelmünket a félvezetőipar igényeire szabott innovatív, megbízható és kiváló minőségű megoldások kínálatában szerezze meg.*
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC csónakok nagy teljesítményű szilícium-karbid kerámia ostyatartók, amelyeket a diffúziós folyamatok során történő pontosságra és tartósságra terveztek. Válassza a Semicorexet a páratlan minőségért, az iparági szakértelemért és a gyártási hatékonyságot optimalizáló, személyre szabott megoldásokért.*
Olvass továbbKérdés küldése