A Semicorex az Ön partnere a félvezető-feldolgozás fejlesztésében. Szilícium-karbid bevonataink sűrűek, magas hőmérséklet- és vegyszerállóak, amelyeket gyakran használnak a félvezetőgyártás teljes ciklusában, beleértve a félvezető lapkák és lapkák feldolgozását és a félvezető gyártást.
A nagy tisztaságú SiC kerámia alkatrészek kulcsfontosságúak a félvezető folyamatokban. Kínálatunk az ostyafeldolgozó berendezések fogyóeszköz-alkatrészeitől, például szilícium-karbid ostyahajótól, konzolos lapátoktól, csövektől stb. terjed az Epitaxy vagy MOCVD számára.
A félvezető eljárások előnyei
A vékonyréteg-lerakódási fázisoknak, mint például az epitaxia vagy a MOCVD, vagy az ostyakezelési folyamatoknak, mint például a maratás vagy az ionimplantáció, el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást. A Semicorex nagy tisztaságú szilícium-karbid (SiC) konstrukció kiváló hőállóságot és tartós vegyszerállóságot, egyenletes termikus egyenletességet biztosít az egyenletes epiréteg vastagság és ellenállás érdekében.
Kamrafedelek →
A kristálynövekedéshez és az ostyakezeléshez használt kamrafedeleknek el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást.
Konzolos lapát →
A konzolos lapát kulcsfontosságú alkatrész, amelyet a félvezetőgyártási folyamatokban használnak, különösen a diffúziós vagy LPCVD kemencékben olyan folyamatok során, mint a diffúzió és az RTP.
Process Tube →
A Process Tube kulcsfontosságú alkatrész, amelyet kifejezetten különféle félvezető-feldolgozási alkalmazásokhoz terveztek, mint például az RTP, a diffúzió.
Ostyahajók →
A Wafer Boat-ot félvezető-feldolgozásban használják, és aprólékosan megtervezték, hogy a finom ostyák biztonságban legyenek a gyártás kritikus szakaszaiban.
Bemeneti gyűrűk →
SiC bevonatú gázbevezető gyűrű MOCVD berendezéssel A vegyületnövekedés magas hő- és korrózióállósággal rendelkezik, amely rendkívül stabil extrém környezetben.
Fókuszgyűrű →
A Semicorex kellékei A szilícium-karbid bevonatú fókuszgyűrű igazán stabil RTA, RTP vagy durva vegyszeres tisztításhoz.
Ostya Chuck →
A Semicorex ultra-lapos kerámia vákuum ostyatokmányok nagy tisztaságú SiC bevonattal vannak ellátva az ostyakezelési folyamat során.
A Semicorexnek vannak kerámiatermékei alumínium-oxidból (Al2O3), szilícium-nitridből (Si3N4), alumínium-nitridből (AIN), cirkónium-dioxidból (ZrO2), kompozit kerámiából stb.
A Semicorex SiC Fine Powder egy kiváló minőségű, ultrafinom por, amely kivételes tisztaságáról és szabályozott részecskeméret-eloszlásáról ismert. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA kivételes tisztaságú szilícium-karbidból készült Semicorex High-Purity SiC Boat kiváló termikus stabilitást, mechanikai robusztusságot és vegyszerállóságot mutat. Ez az anyagválasztás kritikus fontosságú a potenciális szennyeződés csökkentése, a lapkák károsodástól való védelme és a félvezetőgyártás során felmerülő szigorú feltételek elviselése érdekében. A Semicorex elkötelezettsége a piacvezető minőségi termékek gyártása és szállítása iránt, valamint a versenyképes fiskális megfontolások megerősíti azon törekvésünket, hogy partnerkapcsolatokat létesítsünk a félvezető lapkák szállítására vonatkozó követelmények teljesítése érdekében.
Olvass továbbKérdés küldéseA kivételes tisztaságú szilícium-karbidból készült Semicorex SiC Boat for Wafer Handling olyan konstrukcióval büszkélkedhet, amely precíziós nyílásokkal rendelkezik az ostyák rögzítésére, csökkentve a műveletek során bekövetkező mozgásokat. A szilícium-karbid anyagként való megválasztása nemcsak keménységet és rugalmasságot biztosít, hanem azt is, hogy ellenáll a magas hőmérsékletnek és a vegyszereknek való kitettségnek. Emiatt a SiC Boat for Wafer Handling kulcsfontosságú elemévé válik számos félvezető-gyártási szakaszban, mint például a kristályok termesztése, diffúziója, ionbeültetése és maratása.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex PBN/PG fűtőtestek (pirolitikus bór-nitrid/pirolitikus grafit) fejlett bór-nitrid kerámia anyagokból készültek, amelyeket aprólékosan úgy alakítottak ki, hogy ellenálljanak az 1700 °C-ot meghaladó szélsőséges hőmérsékleteknek. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA bór-nitrid kerámiából készült Semicorex PBN fűtőtokmányok a legmodernebb hőkezelési megoldások élvonalába tartoznak. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, és reméljük, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex pirolitikus bór-nitrid melegítők a teljesítmény és a megbízhatóság csúcsát képviselik a magas hőmérsékletű alkalmazások területén. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldése