A Semicorex az Ön partnere a félvezető-feldolgozás fejlesztésében. Szilícium-karbid bevonataink sűrűek, magas hőmérséklet- és vegyszerállóak, amelyeket gyakran használnak a félvezetőgyártás teljes ciklusában, beleértve a félvezető lapkák és lapkák feldolgozását és a félvezető gyártást.
A nagy tisztaságú SiC kerámia alkatrészek kulcsfontosságúak a félvezető folyamatokban. Kínálatunk az ostyafeldolgozó berendezések fogyóeszköz-alkatrészeitől, például szilícium-karbid ostyahajótól, konzolos lapátoktól, csövektől stb. terjed az Epitaxy vagy MOCVD számára.
A félvezető eljárások előnyei
A vékonyréteg-lerakódási fázisoknak, mint például az epitaxia vagy a MOCVD, vagy az ostyakezelési folyamatoknak, mint például a maratás vagy az ionimplantáció, el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást. A Semicorex nagy tisztaságú szilícium-karbid (SiC) konstrukció kiváló hőállóságot és tartós vegyszerállóságot, egyenletes termikus egyenletességet biztosít az egyenletes epiréteg vastagság és ellenállás érdekében.
Kamrafedelek →
A kristálynövekedéshez és az ostyakezeléshez használt kamrafedeleknek el kell viselniük a magas hőmérsékletet és a kemény vegyszeres tisztítást.
Konzolos lapát →
A konzolos lapát kulcsfontosságú alkatrész, amelyet a félvezetőgyártási folyamatokban használnak, különösen a diffúziós vagy LPCVD kemencékben olyan folyamatok során, mint a diffúzió és az RTP.
Process Tube →
A Process Tube kulcsfontosságú alkatrész, amelyet kifejezetten különféle félvezető-feldolgozási alkalmazásokhoz terveztek, mint például az RTP, a diffúzió.
Ostyahajók →
A Wafer Boat-ot félvezető-feldolgozásban használják, és aprólékosan megtervezték, hogy a finom ostyák biztonságban legyenek a gyártás kritikus szakaszaiban.
Bemeneti gyűrűk →
SiC bevonatú gázbevezető gyűrű MOCVD berendezéssel A vegyületnövekedés magas hő- és korrózióállósággal rendelkezik, amely rendkívül stabil extrém környezetben.
Fókuszgyűrű →
A Semicorex kellékei A szilícium-karbid bevonatú fókuszgyűrű igazán stabil RTA, RTP vagy durva vegyszeres tisztításhoz.
Ostya Chuck →
A Semicorex ultra-lapos kerámia vákuum ostyatokmányok nagy tisztaságú SiC bevonattal vannak ellátva az ostyakezelési folyamat során.
A Semicorexnek vannak kerámiatermékei alumínium-oxidból (Al2O3), szilícium-nitridből (Si3N4), alumínium-nitridből (AIN), cirkónium-dioxidból (ZrO2), kompozit kerámiából stb.
A Semicorex Alumina Fastener szerves részét képezi a kémiai gőzleválasztáshoz (CVD), ionimplantációhoz, fotolitográfiához és félvezetőgyártáshoz használt berendezések felépítésének.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC Pump Shaft páratlan teljesítményével és megbízhatóságával tűnik ki a mágneses szivattyúk, pajzsszivattyúk, többfokozatú szivattyúk, hidraulikus szivattyúk, vegyszerszivattyúk és centrifugák szerves alkatrészeként.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex által bemutatott AlN Ceramic Crucible a szélsőséges körülményeknek is ellenálló tégely nélkülözhetetlen eszköz a nemvasfémekkel és félvezető anyagokkal, például gallium-arzeniddel dolgozó szakemberek számára.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex Alumina Boat a félvezetőiparban, az általános gépiparban és a magas hőmérsékletű eljárásokban találja meg a helyét, nélkülözhetetlennek bizonyulva a megbízhatóságot és pontosságot kereső szakemberek számára.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex SiC kerámialemez páratlan teljesítményt nyújt kopásállóságot, korrózióállóságot és magas hőmérsékleti stabilitást igénylő környezetben. Ezt a terméket béléslapként és tartóelemként való használatra tervezték számos igényes alkalmazáshoz.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex AlN Ceramic Disc kivételes képességű anyagként tűnik ki, amelyet a termikus, mechanikai és elektromos tulajdonságok egyedülálló kombinációja miatt értékelnek. A Semicorexnél élen járunk az AlN kerámialemezek gyártásában, biztosítva, hogy ezek az alkatrészek megfeleljenek a modern technológia és az ipari alkalmazások szigorú követelményeinek.**
Olvass továbbKérdés küldése