Szilícium-karbid kerámia ostyahajók

Prémium anyagválasztás

A Semicorex szilícium-karbid kerámia kiváló tulajdonságaiostyahajókjó minőségű alapanyagoknak köszönhető. A félvezető minőségű SiSiC anyagból készült és CVD SiC bevonattal borított szilícium-karbid kerámia ostya a következő kiváló tulajdonságokkal rendelkezik.

1. Ultra-nagy tisztaságú, fémszennyeződésektől mentes

Az aljzat szennyeződése: ＜100 ppm

CVD SiC bevonat szennyeződés: ＜1 ppm

2. Kiváló hőstabilitás

A szilícium-karbid kerámia ostyahajók 1250 ℃-os magas hőmérsékleti körülmények között is folyamatosan teljesítenek, minimális deformációt és kúszásállóságot biztosítva.

3. Nagy mechanikai szilárdság

Szilícium-karbidnagy keménységgel és kopásállósággal rendelkezik, így a Semicorex szilícium-karbid kerámia ostya csónakok ellenállnak a karcolásoknak, kopásnak és sérüléseknek, így jól teljesítenek a hosszú távú működés során, és ellenállnak a sérüléseknek.

4.Kivételes korrózióállóság

Mivel a szilícium-karbid ellenáll az erős savak és lúgok okozta korróziónak, a Semicorex szilícium-karbid kerámia ostyahajók még erősen korrozív munkakörülmények között is megőrzik szerkezeti integritását és funkcionális teljesítményét.

Optimalizált szerkezeti tervezés

A Semicorex szilícium-karbid kerámia ostyahajókat szakaszos ostyafeldolgozásra tervezték, optimalizált szerkezeti keretük stabil szakaszos ostyatámasztást és következetes folyamatstabilitást biztosít minden egyes ostyánál.

1,3 oszlopos függőleges tartószerkezet

A Semicorex szilícium-karbid kerámia ostyahajók függőleges szerkezete lehetővé teszi, hogy zökkenőmentesen illeszkedjenek a függőleges kemence alkalmazásokhoz. Ezzel a szerkezettel az emicorex szilícium-karbid kerámia ostyahajók elősegíthetik a technológiai gázok homogén keringését és a hőenergia egyenletes eloszlását a magas hőmérsékletű kemencében.

2.Egyenletesen elosztott réscsípések

A Semicorex szilícium-karbid kerámia ostyahajók tartóoszlopaikon több precíziós megmunkálású réscsipesz van felszerelve. Az egyenletesen elhelyezett réscsípések megfelelő réstávolságot biztosítanak, ami lehetővé teszi, hogy a szilícium-karbid kerámia ostya szilárdan rögzítsék a félvezető lapkákat, ezáltal hozzájárulva az ostya termikus feldolgozási eredményeinek konzisztenciájának javításához.

A sok kiváló teljesítménnyel és funkcióval rendelkező Semicorex szilícium-karbid kerámia ostyahajókat széles körben használják a félvezető lapkák gyártási folyamataiban, mint például az oxidáció, diffúzió, ionimplantáció és magas hőmérsékletű lágyítás.