Szilícium-karbid bevonatú grafit hordó

A Semicorex szilícium-karbid bevonatú grafithordó tökéletes választás a nagy hő- és korrózióállóságot igénylő félvezetőgyártási alkalmazásokhoz. Kivételes hővezető képessége és hőeloszlási tulajdonságai ideálissá teszik az LPE folyamatokban és más magas hőmérsékletű környezetekben való használatra.

Kérdés küldése

termékleírás

Ha félvezetőgyártásról van szó, a Semicorex szilícium-karbid bevonatú grafithordó a legjobb választás a kivételes teljesítmény és megbízhatóság érdekében. Kiváló minőségű SiC bevonata, valamint kiváló sűrűsége és hővezető képessége kiváló hőeloszlást és védelmet biztosít még a legnagyobb kihívást jelentő magas hőmérsékletű és korrozív környezetben is.

Szilícium-karbid bevonatú grafit hordónk egyenletes hőprofilt biztosít, garantálva a legjobb lamináris gázáramlási mintát. Megakadályozza a szennyeződések vagy szennyeződések bediffundálását az ostyába, így ideális tisztatéri környezetben való használatra. A Semicorex a SiC Coated Graphite Susceptor nagyméretű gyártója és szállítója Kínában, és termékeink jó árelőnnyel rendelkeznek. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk a félvezetőiparban.

Szilícium-karbid bevonatú grafithordó paraméterei

A CVD-SIC bevonat főbb specifikációi
SiC-CVD tulajdonságai
Kristályszerkezet	FCC β fázis
Sűrűség	g/cm³	3.21
Keménység	Vickers keménység	2500
Szemcseméret	μm	2~10
Kémiai tisztaság	%	99.99995
Hőkapacitás	J kg-1 K-1	640
Szublimációs hőmérséklet	℃	2700
Felexurális Erő	MPa (RT 4 pontos)	415
Young's Modulus	Gpa (4 pont kanyar, 1300 ℃)	430
Hőtágulás (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Hővezetőképesség	(W/mK)	300

A szilícium-karbid bevonatú grafithordó jellemzői

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg jó sűrűségű, és jó védő szerepet játszhat magas hőmérsékleten és korrozív munkakörnyezetben.

- Az egykristály növesztéshez használt szilícium-karbid bevonatú szuszceptor nagyon magas felületi síksággal rendelkezik.

- Csökkentse a hőtágulási együttható különbségét a grafit szubsztrát és a szilícium-karbid réteg között, hatékonyan javítja a kötési szilárdságot a repedés és a rétegvesztés megakadályozása érdekében.

- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.

- Magas olvadáspont, magas hőmérsékletű oxidációállóság, korrózióállóság.