A szilícium-karbid ICP maratólemez nélkülözhetetlen ostyatartó, amelyet nagy tisztaságú szinterezett szilícium-karbid kerámiából gyártanak. Kifejezetten a Semicorex által tervezett, az induktív csatolású plazma (ICP) maratási és felhordási rendszerek kulcsfontosságú eszközeként szolgál a legmodernebb félvezetőiparban.
Szilícium-karbid ICP maratólemezkompetens abban, hogy stabil alátámasztást és pontos pozícionálást biztosítson az ostyáknak a maratási műveletek során, hatékonyan megakadályozva a maratási pontosság csökkenését a rezgések vagy elmozdulások miatt.
A szilícium-karbid ICP maratólemez hőkezelési képességekkel rendelkezik. Kiváló hővezető képességSIC kerámialehetővé teszi a szilícium-karbid ICP maratólemeznek a hő gyors elvezetését, ami segít megelőzni a munkadarab helyi túlmelegedését és biztosítja a maratási hőmérséklet egyenletességét, ezáltal javítja a maratás minőségét. A SiC kerámiák alacsony hőtágulási együtthatóval rendelkeznek, ami lehetővé teszi, hogy a szilícium-karbid ICP maratólemez megőrizze a jó méretstabilitást, és csökkentse a munkadarab elmozdulását vagy a hőtágulás okozta deformációt.
Kiváló keménységi és szilárdsági tulajdonságaira támaszkodva a szilícium-karbid ICP maratólemez képes elviselni a maratási folyamat során fellépő mechanikai igénybevételt és plazmaütést minimális deformáció vagy sérülés mellett. Ez a képesség hatékonyan javítja a félvezető eszközök hozamát és gyártási hatékonyságát.
Az ICP működési környezet félvezető szintű tisztaságot igényel. A Semicorex szilícium-karbid ICP maratólemeze teljes mértékben megfelel ennek a követelménynek, kivételes ellenállást biztosítva az ICP maratási környezet kémiai gázaival (például klórral és fluorral) és plazmával szemben. Ez a jelentős tulajdonság tisztán tartja a folyamat környezetét azáltal, hogy csökkenti a maratási műveletek során felszabaduló szennyeződések mennyiségét.
A Semicorex a felhasználó kényelmét helyezi előtérbe, és testreszabott szilícium-karbid ICP maratólemezeket kínál, amelyek zökkenőmentesen integrálhatók a meglévő ICP maratórendszerekkel, és kompatibilisek a különféle konfigurációkkal. Ez zökkenőmentes átállást tesz lehetővé, így ideális frissítési megoldás a berendezésgyártók számára.