Szilícium-karbid technológiai cső

A Semicorex szilícium-karbid technológiai cső a félvezetőgyártás területén kulcsfontosságú elem, amelyet kifejezetten különböző félvezető-feldolgozási alkalmazásokban, például RTP-ben, diffúzióban alkalmazott függőleges kemencékben való használatra terveztek. Ez a speciális cső kulcsfontosságú szerepet játszik a félvezető lapkák ellenőrzött és precíz hőkezelésének megkönnyítésében a kritikus gyártási folyamatokon való utazás során.

A nagy tisztaságú szilícium-karbidból készült szilícium-karbid technológiai cső kivételes hővezető képességgel, szélsőséges hőmérsékletekkel szembeni ellenállással és kiemelkedő mechanikai szilárdsággal rendelkezik. Egyedülálló anyagtulajdonságai ideális választássá teszik olyan alkalmazásokhoz, amelyek magas hőmérsékletet és durva kémiai környezetet igényelnek, amelyek általában a félvezető feldolgozás során fordulnak elő.

A függőleges kemencében a szilícium-karbid technológiai cső védő és ellenőrzött légkört biztosít a félvezető lapkák számára, miközben olyan folyamatokon mennek keresztül, mint az RTP. Az RTP gyors fűtési és hűtési ciklusokat foglal magában, amelyek elengedhetetlenek az adalékanyagok aktiválásához, az izzításhoz és más, a félvezető eszközök gyártásához elengedhetetlen hőkezelésekhez. A szilícium-karbid technológiai cső robusztus jellege hosszú élettartamot és megbízhatóságot biztosít az ilyen igényes termikus és kémiai környezetben, hozzájárulva a félvezető gyártási folyamat általános hatékonyságához és pontosságához.