Szilícium karbid vákuum

A Semicorex Szilícium -karbid vákuum A Chuck a félvezető gyártásának fontos része a nagy pontosságú és alacsony szennyeződésre szoruló folyamatokhoz. A vákuumcsuklók nagy tisztességes porózus szilícium-karbid kerámiából készülnek, és kiváló mechanikai szilárdságot, hővezető képességet és kémiai inertitást biztosítanak, és pontosan ellenőrzött pórusszerkezetet kínálnak a megbízható vákuummegtartáshoz. A szilícium -karbid vákuum -chuck egy funkcionális adszorpciós eszköz, amely szilícium -karbid (SIC) kerámia anyagból készül, amely a vákuum negatív nyomáson, az elektrosztatikus adszorpción vagy a mechanikus szorításon alapul, hogy a munkadarab stabil megértése legyen. A vákuumcsuklók félvezetőkben, fotovoltaikusokban, pontos gyártásban és egyéb alkalmazásokban használják, amelyek rendkívül nagy igényt mutatnak az anyagi magas hőmérséklet -ellenállás, a kopásállóság és a tisztaság iránt.

Adugaszegy porózus SIC anyag, amelynek kiszámítható légi permeance van a felszínén. Ez azt jelenti, hogy lehet egy ostya biztonságos adszorpciója mechanikus szorítás nélkül, és ezért immaterializálja a minta fizikai károsodása vagy szennyeződésének potenciálját. Az anyag porozitása szorosan ellenőrzött - általában 35–40% porozitású -, hogy megfelelő vákuumeloszlást biztosítson, de megfeleljen a tartós termikus és mechanikus kerékpározás szerkezeti követelményeinek.

Ostya vákuumcsuklókáltalában kemény felületből készülnek, sok kis lyukkal vagy csatornával a felületen. Ezen kis lyukakon keresztül a Chuck csatlakoztatható egy vákuumszivattyúhoz, ami vákuumhatást hoz létre. Amikor az ostyát a Chuckra helyezik, a vákuumszivattyú be van kapcsolva, és a levegőt a kis lyukakon keresztül húzzák, így vákuumot okozva az ostya és a chuck között. Ez a vákuumhatás elegendő szívást hoz létre ahhoz, hogy az ostya szilárdan rögzítse a Chuck felületét.

A kerámia felületeket gyakran használják olyan alkalmazásokban, amelyek nagy tisztaságú és kémiai stabilitást igényelnek. A kerámia olyan anyagok, amelyeket az ásványok magas hőmérsékletű fúziója termel. Általánosságban elmondható, hogy a kerámia elektromos szigetelők vagy félvezetők, és nagy ellenállást mutatnak a termikus bontás, erózió és károsodás ellen.

A Semicorex az egyedi szilícium -karbid vákuumot építi az ügyfél specifikációinak, például méretek, porozitás, felületi kivitel és a vákuumcsatorna mintáinak. Gyártási és tiszta szoba képességeink eredményeként az alacsony részecskék és a tisztaság szempontjából a legjobbat kínáljuk, hogy megfeleljenek az összes félvezető fab és berendezésgyártó tisztasági követelményeinek.

Készíthetünk egy darabot bármilyen méretű ostyához, a 2 hüvelyk és a 12 hüvelykes ostya között, és alkalmazkodhatunk a Chuck integrálásához egy sokféle ostyafeldolgozó berendezésbe. Használható a front-end folyamatokhoz és/vagy a háttér-folyamatokhoz, így a SIC vákuum-chuck gazdaságos, pontos, stabil és szennyeződésmentes az ostya-támogatást a félvezető FAB munkafolyamatban.

A Szilícium -karbid vákuum -chuck alapvető eszköz a mai félvezető gyártásban, a legjobb anyagok és a mérnöki munka kombinálásában. A tartós és tapadó megbízhatóság termikus és kémiai szélsőségek révén tökéletes támogatást nyújt a folyamatban lévő alkalmazásokban, amelyek magukban foglalják a viaszolást, a vékonyodást, a tisztítást és az RTA -t. A szilícium -karbid vákuum -chuck -jának beszerzésével a Semicorex -en keresztül biztosítja a legjobb anyagi tisztaságot, az egyedi megoldásokat és a megbízható teljesítményt az összes ostya -feldolgozó vonalon.