Szilícium ívelt elektródák

A fejlett maratási berendezés során a szilícium ívelt elektródát általában a maratókamra tetejére szerelik fel, a félvezető lapka felé fordítva. A szilícium ívelt elektróda általában az elektrosztatikus tokmányhoz, az Si fókuszgyűrűhöz, az Si élgyűrűhöz, az Si kipufogógyűrűhöz és az Si árnyékológyűrűhöz kapcsolódik, hogy optimális működési feltételeket biztosítson a nagy pontosságú maratáshoz.

A Semicorex szilícium ívelt elektródák funkciói

1. Kompatibilis az összetett 3D szerkezeti maratással

Kivételes 3D elektromos térvezérlési képességgel, Semicorexszilícium ívelt elektródáktökéletesen illeszkedik az összetett szerkezetek geometriai jellemzőihez. A speciális ívelt kialakítás precíz plazmavezérlést és optimalizált energiaeloszlást tesz lehetővé, ami jelentősen befolyásolja a 3D-s szerkezetmarás képarányát és oldalfalának függőlegességét, és teljes mértékben megfelel a fejlett csomagolási eljárások és a 3D IC integráció gyártósor követelményeinek.

2. A maratott gázelosztás pontos szabályozása

A Semicorex szilícium ívelt elektródák felületükön több egyenletesen elosztott mikrolyuk található, hogy a marógáz bejusson a maratókamrába. A Semicorex szilícium ívelt elektródák precíz szabályozást tesznek lehetővé a maratógázon, és lehetővé teszik annak egyenletes eloszlását a maratókamrában, ezáltal minimalizálva a nem egyenletes gázeloszlás okozta folyamatváltozásokat.

A Semicorex szilícium ívelt elektródák előnyei

1. Ultra-nagy tisztaságú

A Semicorex szilícium ívelt elektródák rendkívül nagy tisztaságú egykristályból készülnekszilícium99,9999999% feletti tisztasági szinttel, kiváló ellenállást biztosítva a plazma erózióval szemben. Ezzel a magas színvonalú anyagválasztással hatékonyan elkerülhető a maratási melléktermékekből származó nem kívánt szennyeződés, ugyanakkor jelentősen meghosszabbítható a szilícium íves elektródák élettartama.

2. Kiváló elektromos tulajdonságok

Az MCZ-ben termesztett egykristályos szilíciumból készült Semicorex szilícium ívelt elektródák kiváló ellenállási egyenletességet mutatnak: ＜5%, és széles, választható ellenállási tartományt: alacsony felbontású. (<0,02), középső felbontás (1–4) és nagy felbontású (70–90).

3. Precíziós feldolgozási pontosság

A nagy pontosságú mechanikai feldolgozás révén a Semicorex szilícium ívelt elektródák egyenletes pórusméretet és egyenletes lyukeloszlást biztosítanak. Felületük finoman polírozott és csiszolt: polírozott (Ra < 0,1 μm) és csiszolt (Ra < 1,6 μm), a teljes megmunkálási pontosság 0,03 mm-en belül szabályozott.