Szilikon rézkarcgyűrűk

A szilícium maratógyűrűk a CCP/ICP maróberendezések plazmamaratási kamrájának alapvető alkotóelemei, és általában a félvezető lapka körül helyezkednek el. Elsődleges funkcióik a félvezető lapka alátámasztása, az egyenletes plazmaeloszlás fenntartása, a lapka élének védelme, ezáltal elősegítve a plazmamaratási folyamat optimális működési feltételeinek megteremtését.

A Semicorex szilikon maratógyűrűk előnyei

1. Prémium anyagválasztás

A Semicorex szilikon maratógyűrűk a gondosan kiválasztott, nagy tisztaságú MCZ-ből készülnekmonokristályos szilícium, amely a következő kiváló tulajdonságokat kínálja a hagyományos CZ monokristályos szilíciumhoz képest.

Nagy tisztaságú: A tisztaság 99,9999999% feletti, ami azt jelenti, hogy a Semicorex szilícium maratógyűrűk szinte nem tartalmaznak szennyeződéseket. Ez az ultra-nagy tisztaság hatékonyan elkerülheti a komponensek szennyeződései által okozott interferenciát a maratási folyamat során, ezáltal garantálva a magas maratási pontosságot.

Stabil szerkezet: Az MCZ monokristályos szilícium kiváló kristályszerkezettel rendelkezik, kisebb hibákkal, mint a hagyományos CZ monokristályos szilícium. Ez a stabil kristályszerkezet biztosítja a Semicorex szilícium maratógyűrűknek a plazmakorrózióval szembeni fokozott korrózióállóságát, és lehetővé teszi számukra, hogy ellenálljanak a kemény maratási körülményeknek.

Kiváló ellenállási egyenletesség:Semicorex szilikon maratógyűrűkkivételes ellenállási egyenletességet biztosít RRG < 5% mellett. Low Res. (<0,02 Ω·cm), középső felbontás (0,2–25 Ω·cm), nagy felbontású (>100 Ω·cm). Ez a kiváló ellenállási egyenletesség minimálisra csökkentheti a túl magas vagy alacsony ellenállás okozta egyenetlen plazmaeloszlást, ami hozzájárul a nagy pontosságú plazmamaratáshoz ideális elektromos mező kialakításához.

2. Precíziós feldolgozás és szigorú minőségellenőrzés

A Semicorex tapasztalt műszaki csapattal büszkélkedhet, amely személyre szabott testreszabási és műszaki értékeléseket tud nyújtani értékes ügyfeleink számára, valamint szisztematikus feldolgozási és ellenőrzési eljárásokat is kialakított a termékminőség garantálása érdekében.

Rugalmas testreszabási szolgáltatások: A Semicorex támogatja a vevői rajzok alapján történő testreszabást, és a szilikon maratógyűrűk maximális egyedi átmérője akár 470 mm is lehet.

Magas színvonalú felületkezelés: A polírozás pontossága Ra < 0,1 µm-en belül szigorúan szabályozható, a finomcsiszolással pedig Ra > 0,1 µm felületi minőség érhető el.

Szigorú minőségellenőrzés: A méretmérést, az ellenállás-vizsgálatot és a szemrevételezést annak biztosítására végzik, hogy a szilícium maratógyűrűk mentesek-e a forgácsoktól, karcolásoktól, repedésektől, foltoktól és egyéb hibáktól.