Egykristály szilikon zuhanyfej

Semicorex egykristályos szilíciumzuhanyfejkivételes korrózióállóságot, alacsony tágulási együtthatót és kiváló hővezető képességet mutat. Erősen alkalmazkodik a félvezetőgyártás során alkalmazott zord körülményekhez, mint a magas hőmérséklet, a nagy korrozivitás és a nagy vákuum, így kivételes toleranciát mutat a folyamatgázokkal, például a maratási és lerakódási gázokkal szemben. Ezért az egykristályos szilícium zuhanyfejet széles körben használják félvezető tisztítási, oxidációs, leválasztási és maratási folyamatokban.

A Semicorex fejlett felületkezelési technikákat alkalmaz annak biztosítására, hogy az egykristályos szilikon zuhanyfej felülete rendkívül sima és sima legyen. Eközben a csatornaszerkezet és a gázút szabványosított kialakítására támaszkodva az egykristályos szilícium zuhanyfej felülete egyenletesen oszlik el, sok azonos átmérőjű pórussal (a minimális átmérő elérheti a 0,2 millimétert). Az egykristályos szilícium zuhanyfej pórusátmérőjének tűréshatára mikrométeres szinten pontosan szabályozott, a pórus belső falának simának és sorjamentesnek kell lennie, így szerkezeti és technológiai szempontból is biztosítja a folyamatgáz elosztási pontosságát és egyenletességét.

A Semicorex szakértői testreszabási szolgáltatásokat nyújt az ügyfelek különféle igényeinek kielégítésére. Megbízói különféle igényeinek megfelelően testreszabhatja a megjelenési megoldásokat reakciókamráik méretéhez és formájához. Az optimalizált kialakítás lehetővé teszi, hogy az ostyák teljes és egyenletes érintkezést hozzanak létre a folyamatgázzal a reakciófolyamat során, garantálva, hogy a gáz egyenletesen oszlik el a reakciókamrában. Ez végső soron javítja a termelés hatékonyságát és a termékminőséget.