SiSiC ostyahajó

A félvezető- és napelemgyártás versenykörnyezetében elengedhetetlen az áteresztőképesség és az alkatrészek élettartamának egyensúlya. A miénkSiSiC A Wafer Boat-ot úgy tervezték, hogy „ipari igásló” legyen a magas hőmérsékletű kemencékben. A reakció-kötési eljárás alkalmazásával olyan hordozót szállítunk, amely kiváló mechanikai szilárdságot és hősokkállóságot biztosít a hagyományos kvarchoz és a hagyományos kerámiákhoz képest.

A SiSiC tudománya: Miért fontos a reakciókötés?

Ellentétben a szinterezett SiC-vel, amely nagynyomású porszilárdítással jön létre,SiSiC ostyahajó porózus szén előformát olvadt szilíciummal infiltrálva állítják elő. Ez a "Reaction Bonding" eljárás olyan anyagot eredményez, amelynek a gyártás során közel nulla zsugorodása van, ami lehetővé teszi összetett, nagyméretű hajóarchitektúrák előállítását hihetetlen méretpontossággal.

1. Kiváló hőütésállóság

A szakaszos feldolgozás egyik legkritikusabb kihívása a kemence gyors "push-pull" ciklusa. A kvarchordozók gyakran megrepednek hőterhelés hatására. A SiSiC lényegesen magasabb törési modulussal (MOR) és kiváló hővezető képességgel rendelkezik. Ez lehetővé teszi, hogy hajóink ellenálljanak a gyors hőmérséklet-emelkedésnek a szerkezeti meghibásodás kockázata nélkül, ami közvetlenül a berendezés leállásának csökkentését eredményezi.

2. Magas teherbíró képesség hőmérsékleten

Ahogy az ostyaméret növekszik és a tételek nagyobbak lesznek az áteresztőképesség maximalizálása érdekében, a hordozó súlya növekszik. SiSiC csónakjaink kivételes kúszási ellenállást mutatnak. Míg más anyagok 1250 °C-on nagy terhelés hatására megereszkedhetnek vagy meghajolhatnak, a SiSiC megtartja geometriáját, biztosítva, hogy az ostyarés párhuzamossága tökéletes maradjon több ezer cikluson keresztül.

3. Kémiai tehetetlenség és felületi integritás

SiSiC csónakjainkat kemény vegyi környezetekhez tervezték. Az anyag eredendően ellenáll az LPCVD és diffúziós folyamatokban használt korrozív gázoknak. Ezenkívül a felületet kezelik, hogy ne legyen "szabad szilícium" migráció, stabil, tiszta környezetet biztosítva, amely védi az ostyák elektromos integritását.

Műszaki adatok: SiSiC Performance Matrix

A globális gyártási szabványokhoz optimalizálva

SiSiC Wafer Boatunk kompatibilis a világ vezető kemence OEM-eivel, beleértve a TEL-t (Tokyo Electron), az ASM-et és a Kokusai Electricet. Személyre szabott megoldásokat kínálunk:

Vízszintes diffúziós kemencék: Hosszú hosszúságú csónakok nagy pontosságú hornyolásokkal 150 mm-es és 200 mm-es ostyákhoz.

Függőleges kemencerendszerek: Kis tömegű kialakítások, amelyek optimalizálják a gázáramlást és a hő egyenletességét.

Napelemes napelem gyártás: Speciális SiSiC hordozók, amelyeket nagy térfogatú POCl3 diffúzióra terveztek, és 5-10-szer hosszabb élettartamot kínálnak, mint a kvarcé.

Szakértői betekintés: Az 1380°C-ot meghaladó folyamatokhoz a szinterezett SiC sorozatunkat ajánljuk. A diffúziós, oxidációs és LPCVD lépések túlnyomó többségénél azonban a SiSiC biztosítja a legköltséghatékonyabb teljesítmény-élettartam arányt az iparágban.

Miért partner velünk?

Anyagszakértelem: Reakciós kötési folyamatunkhoz csak nagy tisztaságú alfa-SiC port és elektronikus minőségű szilíciumot szerzünk be.

Precíziós tervezés: CNC köszörülési képességeink ±0,02 mm-es réstűréseket tesznek lehetővé, csökkentve a lapka vibrációját és törését.

Fenntarthatóság és megtérülés: A kvarcról SiSiC-re való átállással a fabok általában 40%-kal csökkentik az éves fogyasztási kiadásokat a jelentősen csökkent cseregyakoriság miatt.

Minden általunk szállított hajóhoz megfelelőségi tanúsítvány (CoC) és teljes méretvizsgálati jelentés tartozik, amely biztosítja, hogy a folyamatkészlet készen áll a tisztatérbe történő azonnali beszerelésre.