Tömör CVD SiC gyűrűk

Semicorex szilárdCVD SiCA gyűrűket általában a maratóberendezés reakciókamráiba szerelik fel, amelyek körülveszik az elektrosztatikus tokmányokat, hogy folyamatgátként és energiavezetőként szolgáljanak. A kamrán belül koncentrálhatják a plazmát az ostya körül, és megakadályozzák a kifelé irányuló plazmadiffúziót, így megfelelő energiateret biztosítanak a precíz maratási folyamathoz. Ez az egységes és stabil energiamező hatékonyan mérsékelheti az olyan kockázatokat, mint például a lapkahibák, a folyamatsodródás és a félvezető eszközök hozamvesztesége, amelyet az egyenetlen energiaeloszlás és a lapka szélén kialakuló plazmatorzulás okoz.

Kiváló anyagi előnyök

A Semicorex szilárd CVD SiC gyűrűk nagy tisztaságú CVD SiC-ból készülnek, és kiváló anyagelőnyöket kínálnak, hogy teljes mértékben megfeleljenek a félvezető maratási környezetben a magas tisztaság és a magas korrózióállóság szigorú követelményeinek.

1. Nagy tisztaságú

A Semicorex szilárd CVD SiC gyűrűk tisztasága meghaladhatja a 99,9999%-ot, ami azt jelenti, hogy a gyűrűk szinte mentesek a belső szennyeződésektől. Ez a kivételes anyagtisztaság nagymértékben elkerüli a félvezető lapkák és a folyamatkamrák nem kívánt szennyeződését a félvezető maratási folyamatok során felszabaduló szennyeződésekből.

2. Magas korrózióállóság

Semicorextömör CVD SiC gyűrűkA CVD SiC kiváló korrózióállóságának köszönhetően még akkor is megőrizheti szerkezeti integritását és teljesítménystabilitását, ha erős savaknak, lúgoknak és plazmának vannak kitéve, így ideális megoldást jelentenek a kemény maratási feldolgozási környezetekhez.

3. Megbízható hőkezelési teljesítmény

A CVD SiC magas hővezető képességgel és minimális hőtágulási együtthatóval rendelkezik, így a Semicorex tömör CVD SiC gyűrűk gyors hőelvezetést és kiváló méretstabilitást biztosítanak működés közben.

4. Kivételes ellenállási egyenletesség

A Semicorex szilárd CVD SiC gyűrűk kivételes ellenállási egyenletességet biztosítanak 5% alatti RRG mellett.

Ellenállási tartományok: Alacsony felbontású. (<0,02 Ω·cm), középső felbontás (0,2–25 Ω·cm), nagy felbontású (>100 Ω·cm).

Pontos minőségellenőrzés

A Semicorex szilárd CVD SiC gyűrűket szigorú szabványok szerint dolgozzák fel és ellenőrzik, hogy teljes mértékben megfeleljenek a félvezető- és mikroelektronikai területek szigorú pontossági és minőségi követelményeinek.

Felületkezelés: Polírozási pontosság Ra < 0,1 µm; a finom köszörülési pontosság Ra > 0,1 µm

A feldolgozási pontosság ≤ 0,03 mm-en belül szabályozható

Minőségellenőrzés: A Semicorex szilárd CVD SiC gyűrűket méretméréssel, ellenállásteszttel és szemrevételezéssel ellenőrizzük, hogy megbizonyosodjon arról, hogy a termék mentes a forgácsoktól, karcolásoktól, repedésektől, foltoktól és egyéb hibáktól.