Tömör szilícium-karbid bordák

Semicorex szilárdszilícium-karbid bordákjellemzően hőszigetelő alkatrészként kerülnek beépítésre félvezető hőkezelő berendezések függőleges kemencecsöveibe, például RTP izzítókemencékbe és diffúziós kemencékbe. A Semicorex szilícium-karbid bordák hatékonyan szabályozhatják a hőmérséklet-eloszlást a magas hőmérsékletű kemencékben, és minimálisra csökkentik a folyamatajtó tömítő részein a magas hőmérséklet által okozott hőkárosodást. Nedves oxidációs üzemi körülmények között a Semicorex szilícium-karbid bordák hatékonyan alkalmazhatók a folyamateredményekre és a félvezető eszközökre gyakorolt ​​negatív hatások megelőzésére, amelyeket a vízgőz kondenzációja okoz viszonylag alacsony folyamathőmérsékleten.

A Semicorex szilícium-karbid bordák előnyei

1. Kiváló kopásállóság

A CVD SiC polikristályos köbös kristályszerkezettel rendelkezik, kivételes keménységgel a gyémánt után. A Semicorex szilícium-karbid bordák kiváló kopásállósága ennek a tulajdonságnak tulajdonítható, így a kezelés és a csere során ellenállnak a kopásnak.

2. Kiváló hőkezelési kapacitás

A CVD SiC kiváló hőállóságot és magas hőmérsékleti stabilitást biztosít, amely nem olvad meg vagy lágyul meg durván 2000°C-ig, és megtartja stabilitását az ultramagas hőmérsékletű szublimáció előtt. Ennek a kiváló termikus jellemzőknek köszönhetően a Semicorex szilícium-karbid bordák kiválóan alkalmasak a félvezető hőkezelési feldolgozási körülményeihez.

3. Ultra-magas tisztaság

CVD-SiCszinterező adalékok nélkül állítják elő a leválasztási folyamat során. A hagyományos reakciókötésű szilícium-karbidhoz képest sokkal nagyobb tisztaságú, eléri a 99,9995%-ot. Ez hatékonyan megakadályozza a Semicorex szilícium-karbid bordák fémes szennyeződését, amelyet a technológiai környezet magas hőmérséklete okoz, és tökéletesen megfelel a fejlett félvezetőgyártás tisztasági követelményeinek.

4. Megbízható korrózióállóság

A Semicorex szilárd szilícium-karbid bordák ellenállnak a félvezető hőkezelési eljárásokban alkalmazott erősen oxidáló és erősen savas folyamatgázoknak, a CVD SiC magas hőmérsékleten való kivételes kémiai tehetetlensége miatt. Ez a megbízható korrózióállóság hatékonyan meghosszabbítja élettartamukat, csökkentve az alkatrészek cseréjének költségeit.

5. Precíz megmunkálási pontosság

A különböző kemencecsövekkel való kompatibilitás biztosítása érdekében a Semicorex testre szabhatja a szilícium-karbid bordákat az ügyfelek igényei szerint az átmérőre, vastagságra, furatméretre, síkságra és mérettűrésre. Ez a magas színvonalú megmunkálási pontosság garantálja a berendezésekben a bordák stabil működését, és segít optimalizálni a félvezető hőkezelési alkalmazások általános hatékonyságát.