Tömör szilícium-karbid fókuszáló gyűrű

A Semicorex tömör szilícium-karbid fókuszáló gyűrű a félvezetőgyártás kulcsfontosságú eleme, stratégiailag az ostyán kívül helyezkedik el, hogy fenntartsa a közvetlen kapcsolatot. A rákapcsolt feszültség felhasználásával ez a gyűrű fókuszálja a rajta áthaladó plazmát, ezáltal fokozza a folyamat egyenletességét az ostyán. A kizárólag vegyi gőzfázisú szilícium-karbidból (CVD SiC) készült fókuszgyűrű a félvezetőipar által megkövetelt kivételes tulajdonságokat testesíti meg. Mi, a Semicorex elkötelezett a nagy teljesítményű szilícium-karbid fókuszgyűrű gyártása és szállítása iránt, amely egyesíti a minőséget a költséghatékonysággal.

Kérdés küldése

termékleírás

A félvezető gyártásban a Semicorex szilícium-karbid fókuszáló gyűrű döntő szerepet játszik azáltal, hogy pajzsként működik, megőrzi az ostya integritását a maratási folyamat során. Az aprólékosan megtervezett kialakítás precíz és egyenletes maratást tesz lehetővé, megkönnyítve ezáltal a rendkívül bonyolult félvezető elemek előállítását, amelyek kiváló teljesítményt és megbízhatóságot mutatnak.

A szilícium-karbid a választott anyag a fókuszáló gyűrűhöz, mivel kiválóan ellenáll a plazma korróziójának, amikor plazmának van kitéve a vákuum reakciókamrában. A tömör szilícium-karbid fókuszgyűrű több szempontból is felülmúlja a hagyományos szilíciumot, többek között:

(1) Nagy sűrűség, amely minimálisra csökkenti a maratási sebességet.

(2) Kiváló szalaghézag és kiváló szigetelési tulajdonságok.

(3) Kivételes hővezető képesség, alacsony hőtágulási együttható és hősokkállóság.

(4) Nagy rugalmasság párosulva kiváló mechanikai hatásokkal szemben.

(5) Kiváló keménység, kopásállóság és korrózióállóság.

A szilícium-karbid vezetőképessége és ionmaratással szembeni ellenállása hasonló a szilíciumhoz, így a szilícium-karbid fókuszáló gyűrű ideális anyag ehhez az alkalmazáshoz.

A Semicorex tömör szilícium-karbid fókuszáló gyűrű a legmodernebb megoldás a félvezetőgyártás területén. Kiaknázza a CVD SiC egyedi tulajdonságait, hogy megkönnyítse a megbízható, nagy teljesítményű maratási folyamatokat, jelentősen hozzájárulva a félvezető technológia fejlődéséhez.