A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel történő bevonásával állítják elő, szabadalmaztatott kémiai gőzleválasztási (CVD) eljárással.
A tantál-karbid (TaC) tantálból és szénből álló vegyület. Fémes elektromos vezetőképességgel és kivételesen magas olvadásponttal rendelkezik, így szilárdságáról, keménységéről, valamint hő- és kopásállóságáról ismert tűzálló kerámiaanyag. A tantál-karbidok olvadáspontja a tisztaságtól függően körülbelül 3880 °C, és a bináris vegyületek közül az egyik legmagasabb olvadásponttal rendelkezik. Ez vonzó alternatívává teszi, amikor a magasabb hőmérsékleti igények meghaladják az összetett félvezetők epitaxiális folyamataiban, például a MOCVD és az LPE által használt teljesítményt.
A Semicorex TaC bevonat anyagadatai
Projektek |
Paraméterek |
Sűrűség |
14,3 (gm/cm³) |
Emissziós képesség |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Keménység (HK) |
2000 |
Ellenállás (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Hőstabilitás |
<2500 ℃ |
Grafit méretváltozás |
-10~-20um (referenciaérték) |
Bevonat vastagsága |
≥20um tipikus érték (35um±10um) |
|
|
A fentiek tipikus értékek |
|
Semicorex TaC bevonatú vezetőgyűrű, az innováció csúcsa a SiC (szilícium-karbid) egykristályos növesztőkemencékben. A félvezetőipar szigorú követelményeinek megfelelően kialakított vezetőgyűrű azt ígéri, hogy páratlan pontossággal és megbízhatósággal újradefiniálja a kristálynövekedési folyamatokat.
Olvass továbbKérdés küldéseSemicorex élvonalbeli TaC bevonatú grafit szuszceptor, egy forradalmi komponens, amelyet arra terveztek, hogy az ostya epitaxiális folyamatát a hatékonyság és a pontosság új magasságaiba emelje. A páratlan szakértelemmel és a legkorszerűbb technológiát alkalmazó Semicorex TaC bevonatos grafit szuszceptort úgy tervezték, hogy megfeleljen a félvezetőgyártás szigorú követelményeinek.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex kiváló minőségű tantál-karbid bevonatú grafit alkatrészeket kínál testreszabott szolgáltatással. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex tantál-karbid bevonatú grafit szuszceptort kínál testreszabott szolgáltatással. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex TaC bevonatú porózus grafit egy fejlett, nagy tisztaságú anyag a félvezető feldolgozás során. Ez a kulcsfontosságú berendezés kulcsfontosságú szerepet játszik az egykristályos SiC növekedési folyamatában. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseProfesszionális gyártóként szeretnénk Önnek TaC bevonatú gyűrűket kínálni. Bemutatjuk a CVD Tac Coated Ring-et, amely egy korszerű megoldás a félvezető berendezésekhez. Ez az élvonalbeli termék fejlett kémiai gőzleválasztásos (CVD) bevonattal büszkélkedhet, amely kivételes tartósságot és kopásállóságot biztosít.
Olvass továbbKérdés küldése