A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel történő bevonásával állítják elő, szabadalmaztatott kémiai gőzleválasztási (CVD) eljárással.
A tantál-karbid (TaC) tantálból és szénből álló vegyület. Fémes elektromos vezetőképességgel és kivételesen magas olvadásponttal rendelkezik, így szilárdságáról, keménységéről, valamint hő- és kopásállóságáról ismert tűzálló kerámiaanyag. A tantál-karbidok olvadáspontja a tisztaságtól függően körülbelül 3880 °C, és a bináris vegyületek közül az egyik legmagasabb olvadásponttal rendelkezik. Ez vonzó alternatívává teszi, amikor a magasabb hőmérsékleti igények meghaladják az összetett félvezetők epitaxiális folyamataiban, például a MOCVD és az LPE által használt teljesítményt.
A Semicorex TaC bevonat anyagadatai
Projektek |
Paraméterek |
Sűrűség |
14,3 (gm/cm³) |
Emissziós képesség |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Keménység (HK) |
2000 |
Ellenállás (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Hőstabilitás |
<2500 ℃ |
Grafit méretváltozás |
-10~-20um (referenciaérték) |
Bevonat vastagsága |
≥20um tipikus érték (35um±10um) |
|
|
A fentiek tipikus értékek |
|
A Semicorex TaC Coating Half-moon tantál-karbiddal (TaC) bevont grafitból készült speciális alkatrész, amelyet epitaxiális folyamatokhoz terveztek. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseSemicorex TaC bevonatoló tokmány, a TaC bevonattal ellátott élvonalbeli vákuumtokmány, amelyet kifejezetten félvezető kemencékhez terveztek. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseBiztos lehet benne, hogy TaC bevonatú epitaxiális lemezt vásárol gyárunkból. A Semicorex TaC (tantál-karbid) bevonatú epitaxiális lemez kivételes hőállósággal büszkélkedhet, így ideális a magas hőmérsékletnek kitett alkalmazásokhoz. Figyelemre méltó hőtűrő képessége biztosítja a tartósságot és a megbízhatóságot igényes környezetben. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex TaC Coated Plate egy speciális tárcsa, amelyet SiC epitaxiális folyamatokhoz terveztek, és precízen, kiváló minőségű grafitanyagból készültek. Felületét aprólékosan bevonták tantál-karbiddal (TaC), amely vegyület kivételes tisztaságáról és szilárdságáról ismert. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex TaC Coating Jig a félvezető gyártási folyamat egyik kulcsfontosságú eleme, amelyet aprólékosan grafitból készítettek, és tantál-karbid bevonattal erősítettek meg. Ez a kulcsfontosságú berendezéselem az élvonalbeli anyagtudomány és a precíziós tervezés ötvözetét testesíti meg, amelyet úgy terveztek, hogy megfeleljen a szigorú működési követelményeknek és a félvezetőgyártásban uralkodó szigorú szabványoknak. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex TaC Coating Susceptor az anyaggyártás csúcsát képviseli, precízen kidolgozott, kiváló minőségű grafitból és tantál-karbid bevonattal van megerősítve. Elsősorban SiC kristálynövekedési és SiC epitaxiális folyamatokban való alkalmazásra tervezett innovatív alkatrész a tartósság és a teljesítmény jelzőfénye extrém hő- és kémiai környezetben. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldése