A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel történő bevonásával állítják elő, szabadalmaztatott kémiai gőzleválasztási (CVD) eljárással.
A tantál-karbid (TaC) tantálból és szénből álló vegyület. Fémes elektromos vezetőképességgel és kivételesen magas olvadásponttal rendelkezik, így szilárdságáról, keménységéről, valamint hő- és kopásállóságáról ismert tűzálló kerámiaanyag. A tantál-karbidok olvadáspontja a tisztaságtól függően körülbelül 3880 °C, és a bináris vegyületek közül az egyik legmagasabb olvadásponttal rendelkezik. Ez vonzó alternatívává teszi, amikor a magasabb hőmérsékleti igények meghaladják az összetett félvezetők epitaxiális folyamataiban, például a MOCVD és az LPE által használt teljesítményt.
A Semicorex TaC bevonat anyagadatai
Projektek |
Paraméterek |
Sűrűség |
14,3 (gm/cm³) |
Emissziós képesség |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Keménység (HK) |
2000 |
Ellenállás (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Hőstabilitás |
<2500 ℃ |
Grafit méretváltozás |
-10~-20um (referenciaérték) |
Bevonat vastagsága |
≥20um tipikus érték (35um±10um) |
|
|
A fentiek tipikus értékek |
|
A Semicorex TaC bevonatú grafit alkatrészek precíziósan kialakított alkatrészek, amelyeket kifejezetten úgy terveztek, hogy ellenálljanak a félvezető-feldolgozás megterhelő környezetének. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex TaC Coating Graphite Cover élvonalbeli megoldást képvisel a termikus alkalmazások területén a kristálynövekedés és az epitaxiális (epi) folyamatok területén. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex TaC Coating Ring kulcsfontosságú eleme a termikus mezőn belüli monokristálynövekedésnek. Ez a precízen és innovációval kialakított speciális vezetőgyűrű döntő szerepet játszik a monokristályos anyaggyártás bonyolult folyamatában. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex TaC bevonatú ostya szuszceptor a fém-szerves kémiai gőzleválasztásos (MOCVD) kemencékben használt döntő komponens a félvezető epitaxiális (epi) feldolgozáshoz. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex TaC tantál-karbid bevonatú lemez egy élvonalbeli megoldás, amelyet úgy terveztek, hogy megfeleljen a félvezetőgyártás szigorú követelményeinek, különösen az epitaxiális (epi) feldolgozási szakaszban. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseSemicorex TaC bevonatú vezetőgyűrű, az innováció csúcsa a SiC (szilícium-karbid) egykristályos növesztőkemencékben. A félvezetőipar szigorú követelményeinek megfelelően kialakított vezetőgyűrű azt ígéri, hogy páratlan pontossággal és megbízhatósággal újradefiniálja a kristálynövekedési folyamatokat.
Olvass továbbKérdés küldése