A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel történő bevonásával állítják elő, szabadalmaztatott kémiai gőzleválasztási (CVD) eljárással.
A tantál-karbid (TaC) tantálból és szénből álló vegyület. Fémes elektromos vezetőképességgel és kivételesen magas olvadásponttal rendelkezik, így szilárdságáról, keménységéről, valamint hő- és kopásállóságáról ismert tűzálló kerámiaanyag. A tantál-karbidok olvadáspontja a tisztaságtól függően körülbelül 3880 °C, és a bináris vegyületek közül az egyik legmagasabb olvadásponttal rendelkezik. Ez vonzó alternatívává teszi, amikor a magasabb hőmérsékleti igények meghaladják az összetett félvezetők epitaxiális folyamataiban, például a MOCVD és az LPE által használt teljesítményt.
A Semicorex TaC bevonat anyagadatai
Projektek |
Paraméterek |
Sűrűség |
14,3 (gm/cm³) |
Emissziós képesség |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Keménység (HK) |
2000 |
Ellenállás (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Hőstabilitás |
<2500 ℃ |
Grafit méretváltozás |
-10~-20um (referenciaérték) |
Bevonat vastagsága |
≥20um tipikus érték (35um±10um) |
|
|
A fentiek tipikus értékek |
|
A Semicorex tantál-karbid bevonatú gyűrű a félvezető feldolgozásban használt kulcsfontosságú komponens. Speciális bevonattal készült, amely több funkciót is ellát a félvezető gépek grafit alkatrészeinek hatékonyságának és élettartamának növelése érdekében. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex TaC bevonatú grafit alkatrészek precíziósan kialakított alkatrészek, amelyeket kifejezetten úgy terveztek, hogy ellenálljanak a félvezető-feldolgozás megterhelő környezetének. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex TaC Coating Graphite Cover élvonalbeli megoldást képvisel a termikus alkalmazások területén a kristálynövekedés és az epitaxiális (epi) folyamatok területén. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex TaC Coating Ring kulcsfontosságú eleme a termikus mezőn belüli monokristálynövekedésnek. Ez a precízen és innovációval kialakított speciális vezetőgyűrű döntő szerepet játszik a monokristályos anyaggyártás bonyolult folyamatában. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex TaC bevonatú ostya szuszceptor a fém-szerves kémiai gőzleválasztásos (MOCVD) kemencékben használt döntő komponens a félvezető epitaxiális (epi) feldolgozáshoz. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA Semicorex TaC tantál-karbid bevonatú lemez egy élvonalbeli megoldás, amelyet úgy terveztek, hogy megfeleljen a félvezetőgyártás szigorú követelményeinek, különösen az epitaxiális (epi) feldolgozási szakaszban. A Semicorex elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, ezért várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldése