Függőleges ostyahajó

A Semicorex Vertical Wafer Boat egy speciálisan több ostyához tervezett hordozó, amely maximalizálja a helyhatékonyságot a feldolgozókamrákon belül. Ezek a függőleges ostyahajók általában téglalap vagy henger alakúak, és mindegyik csónakban precíziósan megmunkált nyílások vagy zsebek találhatók, amelyek egymástól bizonyos távolságra vannak az egyes ostyák függőleges helyzetben történő biztonságos rögzítéséhez. A Vertical Wafer Boat szilícium-karbidból (SiC) készült, amely kiválóan ellenáll a magas hőmérsékletnek, a korrozív vegyszereknek és a mechanikai igénybevételnek, így ideális az ostyák esetleges sérülésektől való megóvására.

A félvezető gyártás során a lapkák számos bonyolult folyamaton mennek keresztül, beleértve a diffúziót, az RTP-t és a hőteret. A Vertical Wafer Boat létfontosságú szerepet játszik ezeknek a folyamatoknak az elősegítésében, mivel ostyahordozóként szolgál, lehetővé téve a zökkenőmentes átvitelt a különböző berendezések és színpadok között. Függőleges tájolása minimálisra csökkenti a feldolgozó kamrákban a lábnyomot, optimalizálja az áteresztőképességet, és lehetővé teszi a nagy adag ostya hatékony kezelését.

A Semicorex Vertical Wafer Boat a félvezető feldolgozás sarokköve, amely robusztus és megbízható megoldást kínál az ostyák biztonságos kezelésére és szállítására a gyártás különböző szakaszaiban. Fejlett kialakítása a SiC kivételes tulajdonságaival párosulva kiemeli kulcsszerepét a legmodernebb félvezető eszközök gyártásában.