Ostyahajó hordozó

A Semicorex Wafer Boat Carrier grafitból készül, amely kivételes szilárdság-tömeg arányáról és hővezető képességéről ismert. A tartósságának növelése érdekében azonban minden edényt CVD SiC bevonási eljárásnak vetnek alá. Ez a bevonat nem csak megerősíti a hajót a kemény feldolgozási környezetekkel szemben, hanem megvédi a kémiai korróziótól és a hősokkoktól is, így biztosítja a hosszú élettartamot és a megbízhatóságot még a legnehezebb körülmények között is.

A Wafer Boat Carrier tervezésénél a részletekre való odafigyeléssel gondoskodtak. Szerkezete a maximális hatékonyság és biztonság érdekében optimalizált, precíz méretekkel és gondosan megtervezett geometriákkal, amelyek biztosítják a finom félvezető lapkák biztonságos és stabil elhelyezését a feldolgozás során. Ez minimálisra csökkenti a sérülés vagy szennyeződés kockázatát.

A Wafer Boat Carrier egy sokoldalú megoldás, amely számtalan alkalmazáshoz adaptálható. Használható epitaxiális növekedéshez, kémiai gőzleválasztáshoz és más félvezető-gyártási folyamatokhoz. Robusztus felépítése és kémiai tehetetlensége sokféle folyamatkémiával kompatibilissé teszi, biztosítva a zökkenőmentes integrációt a különböző feldolgozási környezetekbe.