Ostyahajó félvezető eljáráshoz

A Semicorex ostyahajókat, talapzatokat és egyedi ostyatartókat kínál függőleges / oszlopos és vízszintes konfigurációkhoz egyaránt. Évek óta gyártói és szállítói vagyunk a szilícium-karbid bevonófóliáknak. A félvezető eljáráshoz készült ostyahajónk jó árelőnnyel rendelkezik, és lefedi a legtöbb európai és amerikai piacot. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.

Kérdés küldése

termékleírás

Semicorex SiC Wafer Boat félvezető folyamathoz, a tökéletes megoldás az ostyák kezelésére és védelmére a félvezetőgyártásban. A félvezető eljáráshoz használt ostyahajónk kiváló minőségű szilícium-karbidból készül, amely jó korrózióállósággal rendelkezik, és kiválóan ellenáll a magas hőmérsékletnek és hősokknak. A fejlett kerámiák kiváló hőállóságot és plazmatartósságot biztosítanak, miközben csökkentik a részecskéket és a szennyeződéseket a nagy kapacitású ostyahordozók számára.

Az ostyahajó paraméterei félvezető eljáráshoz

Műszaki tulajdonságok
Index	Mértékegység	Érték
Anyag neve		Reakció szinterezett szilícium-karbid	Nyomásmentes szinterezett szilícium-karbid	Újrakristályosított szilícium-karbid
Fogalmazás		RBSiC	SSiC	R-SiC
Testsűrűség	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Hajlító szilárdság	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20°C)90-100 (1400°C)
Nyomószilárdság	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970(560)	> 600
Keménység	Knoop	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Hővezető	W/m.k	95	120	23
Hőtágulási együttható	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Fajlagos hő	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Max hőmérséklet a levegőben	℃	1200	1500	1600
Rugalmassági modulus	Gpa	360	410	240

Az ostyahajó jellemzői félvezető eljáráshoz

Kiváló hőállóság és termikus egyenletesség
Finom SiC kristály bevonat a sima felületért
Nagy tartósság a vegyszeres tisztítással szemben
Az anyagot úgy tervezték, hogy ne forduljon elő repedések és rétegvesztés.