Ostyahajó

A Semicorex Wafer Boat úgy lett kialakítva, hogy elviselje a diffúziós kemence zord körülményeit, mint például a magas hőmérséklet, a korrozív környezet és a precíz ostyaelhelyezés szükségessége a diffúziós folyamat során.

A Wafer Boat szilícium-karbid kerámiából készült, amelyet kivételes tulajdonságai miatt választottak ki. A szilícium-karbid magas hővezető képességéről ismert, amely egyenletes hőmérséklet-eloszlást biztosít az ostyák között a diffúzió során. Ez az egységesség kulcsfontosságú a lapkák integritásának megőrzéséhez és az egyenletes adalékolási szintek biztosításához, amelyek elengedhetetlenek a gyártott félvezető eszközök működéséhez. Ezenkívül a szilícium-karbid magas olvadáspontja és termikus stabilitása lehetővé teszi, hogy a Wafer Boat a diffúziós folyamatokhoz szükséges megemelt hőmérsékleten működjön, gyakran 1000 °C felett, anélkül, hogy leromlana vagy torzulna.

A Wafer Boat szilícium-karbid kerámiájának egyik legfontosabb előnye a kiváló vegyszerállósága. Ez az ellenállás különösen fontos a félvezető lapkák tisztaságának megőrzésében, mivel bármilyen szennyeződés a végtermék hibáihoz vezethet, ami veszélyezteti az integrált áramkörök teljesítményét.

A Wafer Boat szerkezeti integritása egy másik kritikus tényező a tervezésben. A kialakításnak biztosítania kell, hogy az ostyák biztonságosan a helyükön maradjanak, pontos térközzel, hogy egyenletes legyen a reaktív gázoknak való kitettség. Ez a pontosság létfontosságú az összes szelet egyenletes adalékolásához, ami közvetlenül befolyásolja a félvezető eszközök elektromos jellemzőit.

A szilícium-karbid kerámia termikus és kémiai tulajdonságai mellett kiváló méretstabilitást is kínál, ami elengedhetetlen a félvezetőgyártás nagy pontosságú követelményeihez. Ez a stabilitás biztosítja, hogy az ostyák tökéletesen illeszkedjenek egymáshoz, lehetővé téve az adalékanyagok pontos és egyenletes diffúzióját az egyes lapkák teljes felületén, ami kiváló minőségű félvezető eszközök előállításához vezet.

A szilícium-karbid kerámiából készült Semicorex ostyahajó a félvezető diffúziós folyamat alapvető összetevője. Kivételes hővezető képessége, vegyszerállósága, mechanikai szilárdsága és méretstabilitása ideálissá teszi a félvezetőgyártás nehéz körülményeihez. Használata nemcsak a diffúziós folyamat hatékonyságát és megbízhatóságát növeli, hanem hozzájárul a félvezetőgyártás általános költséghatékonyságához is.