Ostyacsónakok

A nagy tisztaságú szilícium-karbidból (SIC) gyártott félcoorex ostyacsónakok alapvető elemei a félvezetők gyártásában. A félvezető folyamatok, amelyekben alkalmazzák, általában magas hőmérsékletű és korrozív környezetet tartalmaznak, például diffúzió, oxidáció és LPCVD folyamatokat. A SIC ostyacsónakok alkalmazását a hőstabilitás és a kémiai ellenállás maximalizálására tervezték, lehetővé téve a szilícium ostyák optimális támogatását, igazítását és szállítását a feldolgozás során az optimális hozamok és az eszköz teljesítménye érdekében.

A szilícium -karbid jól dokumentálva kiváló hővezetőképes kerámia, magas mechanikai szilárdsággal és kiváló termikus ütésállósággal, oxidációs rezisztenciával és agresszív kémiai ellenállással, például HF és HCL -vel. A SIC tulajdonságai különösen vonzóvá teszik az ostyacsónakok anyagát a következő generációs félvezető gyártási folyamatokhoz és a magas hőmérsékleten. A SIC ostyacsónakok fenntarthatják a szerkezeti integritást és a méret stabilitását az 1500 ° C -os folyamat hőmérsékletein, minimalizálva a szófokok megsemmisítésének vagy szennyeződésének kockázatát a kritikus hőkezelések során.

Minden sicostyacsónaknagy tisztességű SIC-ből készülnek fejlett kerámia formázási és szinterezési eljárások felhasználásával, és testreszabhatók a ostya átmérőjének kiterjedt tartományához (100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm), valamint a konfigurációk egymásra rakása függőleges vagy vízszintes. A SIC ostyacsónakjaink sima felületekkel és kiváló lapossággal rendelkeznek, ami minimalizálja a részecskék generálását, és ideálisak az automatizált ostyakezelő rendszerekhez.

A szennyeződés ellenőrzése és a hozam a mai Fabs két legkritikusabb kérdése. A SIC ostya -hordozók tisztaságát és megbízhatóságát befolyásolják a termék minőségének és a következetesség teljesítményének teljesítményének.  A SIC ostyacsónakok sokkal jobb hosszú élettartamúak, kevesebb karbantartási követelményt és alacsonyabb TCO -t tartalmaznak, mint a kvarc vagy az alumínium -oxid alapú alternatívák. A jobb hosszú élettartam kevesebb problémát jelent a mikro-részecskék eloszlásával kapcsolatban, tehát ismét befolyásolja az ostya felületének tisztaságát és befolyásolja a szoba tisztaságát.

A Semicorex arra koncentrál, hogy megtervezze és gyártja azokat a SIC ostyacsónakokat, amelyek a lehető legmagasabb tisztasági nyersanyagokat használják, az alacsony szennyeződés -légköri szintereléssel kombinálva.  Minden erőfeszítést megteszünk az alacsony szennyeződés szintjének fenntartása, az alacsony értékű porozitás és az egyenletes mikroszerkezet fenntartása érdekében, hogy a csapat munkája rendszeresen élvezhesse a következetes hőtulajdonságokat, a pontos ostya -távolságot és a páratlan kémiai lebomlás ellenállását.

Semicorex sicostyacsónakoka félvezetők magas hőmérsékletű feldolgozásának szükséges elemei. A nagy tisztaságú szilícium-karbid ostyacsónak páratlan anyagjellemzőkkel, a tervezett kiválósággal és a mikroszentamináció-mentes temperamentummal teszik őket, hogy a nagy teljesítményű ostya gyártásához magas szintű választásuk legyen. A Semicorex biztosítja a megbízhatóságot és az innovatív nagy teljesítményt, hogy támogassa a legkisebb kritikus félvezető folyamatait.