A Semicorex félvezető minőségű kerámiákat kínál az Ön OEM-félgyártó eszközeihez és lapkakezelő komponensekhez, a félvezetőiparban a szilícium-karbid rétegekre összpontosítva. Évek óta vagyunk az ostyahordozó tálca gyártója és szállítója. Az ostyahordozó tálcánk jó árelőnnyel rendelkezik, és lefedi a legtöbb európai és amerikai piacot. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
A Semicorex nem csak vékonyréteg-leválasztási fázisokhoz, például epitaxiához vagy MOCVD-hez, vagy ostyakezelési feldolgozáshoz szállít ultratiszta kerámia hordozót az ostyák alátámasztására. A folyamat középpontjában a MOCVD ostyahordozó tálcája először a lerakódási környezet hatásának van kitéve, így magas hő- és korrózióállósággal rendelkezik. A SiC bevonatú hordozó emellett magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.
Lépjen kapcsolatba velünk még ma, ha többet szeretne megtudni az ostyahordozó tálcánkról.
Az ostyahordozó tálca paraméterei
Műszaki tulajdonságok |
||||
Index |
Egység |
Érték |
||
Anyag neve |
Reakció szinterezett szilícium-karbid |
Nyomásmentes szinterezett szilícium-karbid |
Újrakristályosított szilícium-karbid |
|
Összetétel |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Térfogatsűrűség |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Hajlító szilárdság |
MPa (kpsi) |
338 (49) |
380 (55) |
80-90 (20°C) 90-100 (1400°C) |
Nyomószilárdság |
MPa (kpsi) |
1120 (158) |
3970(560) |
> 600 |
Keménység |
Gomb |
2700 |
2800 |
/ |
Breaking Tenacity |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Hővezetőképesség |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Hőtágulási együttható |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Fajlagos hő |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Max hőmérséklet a levegőben |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Elasztikus modulus |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Az SSiC és az RBSiC közötti különbség:
1. A szinterezési folyamat eltérő. Az RBSiC célja a szabad Si szilícium-karbidba való beszivárgása alacsony hőmérsékleten, az SSiC 2100 fokos természetes zsugorodás útján jön létre.
2. Az SSiC simább felülettel, nagyobb sűrűséggel és nagyobb szilárdsággal rendelkezik, egyes szigorúbb felületi követelményeket támasztó tömítéseknél az SSiC jobb lesz.
3. Különböző használati idő eltérő PH és hőmérséklet mellett, az SSiC hosszabb, mint az RBSiC
Az ostyahordozó tálca jellemzői
- CVD szilícium-karbid bevonatok az élettartam növelése érdekében.
- Nagy teljesítményű tisztított merev szénből készült hőszigetelés.
- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.
- Nagy tisztaságú grafit és SiC bevonat a lyukállóság és a hosszabb élettartam érdekében
A szilícium-karbid kerámiák elérhető formái:
● Kerámia rúd / kerámia csap / kerámia dugattyú
● Kerámia cső / kerámia persely / kerámia hüvely
● Kerámia gyűrű / kerámia alátét / kerámia távtartó
● Kerámia lemez
● Kerámia lemez / kerámia blokk
● Kerámia golyó
● Kerámia dugattyú
● Kerámia fúvóka
● Kerámia tégely
● Egyéb egyedi kerámia alkatrészek