Ostyahordozó tálca

A Semicorex félvezető minőségű kerámiákat kínál az Ön OEM félkészítő szerszámaihoz és lapkakezelő alkatrészekhez, a félvezetőiparban a szilícium-karbid rétegekre összpontosítva. Évek óta vagyunk az ostyahordozó tálca gyártója és szállítója. Az ostyahordozó tálcánk jó árelőnnyel rendelkezik, és lefedi a legtöbb európai és amerikai piacot. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.

Kérdés küldése

termékleírás

A Semicorex nem csak vékonyréteg-leválasztási fázisokhoz, például epitaxiához vagy MOCVD-hez vagy ostyakezelési feldolgozáshoz szállít ultratiszta kerámia hordozót az ostyák alátámasztására. A folyamat középpontjában a MOCVD ostyahordozó tálcája először a lerakódási környezet hatásának van kitéve, így magas hő- és korrózióállósággal rendelkezik. A SiC bevonatú hordozó emellett magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.
Lépjen kapcsolatba velünk még ma, ha többet szeretne megtudni az ostyahordozó tálcánkról.

Az ostyahordozó tálca paraméterei

Műszaki tulajdonságok
Index	Mértékegység	Érték
Anyag neve		Reakció szinterezett szilícium-karbid	Nyomásmentes szinterezett szilícium-karbid	Újrakristályosított szilícium-karbid
Fogalmazás		RBSiC	SSiC	R-SiC
Testsűrűség	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Hajlító szilárdság	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20°C)90-100 (1400°C)
Nyomószilárdság	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970(560)	> 600
Keménység	Knoop	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Hővezető	W/m.k	95	120	23
Hőtágulási együttható	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Fajlagos hő	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Max hőmérséklet a levegőben	℃	1200	1500	1600
Rugalmassági modulus	Gpa	360	410	240

Az SSiC és az RBSiC közötti különbség:

1. A szinterezési folyamat eltérő. Az RBSiC célja a szabad Si szilícium-karbidba való beszivárgása alacsony hőmérsékleten, az SSiC 2100 fokos természetes zsugorodás útján jön létre.

2. Az SSiC simább felülettel, nagyobb sűrűséggel és nagyobb szilárdsággal rendelkezik, egyes szigorúbb felületi követelményeket támasztó tömítéseknél az SSiC jobb lesz.

3. Különböző használati idő eltérő PH és hőmérséklet mellett, az SSiC hosszabb, mint az RBSiC

Az ostyahordozó tálca jellemzői

- CVD szilícium-karbid bevonatok az élettartam növelése érdekében.
- Nagy teljesítményű tisztított merev szénből készült hőszigetelés.
- Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid réteg magas hővezető képességgel és kiváló hőelosztási tulajdonságokkal rendelkezik.
- Nagy tisztaságú grafit és SiC bevonat a lyukállóság és a hosszabb élettartam érdekében

A szilícium-karbid kerámiák elérhető formái

â Kerámia rúd / kerámia csap / kerámia dugattyú

â Kerámia cső / kerámia persely / kerámia hüvely

â Kerámia gyűrű / kerámia alátét / kerámia távtartó

â Kerámia lemez

â Kerámia lemez / kerámia blokk

â Kerámia golyó

â Kerámia dugattyú

â Kerámia fúvóka

â Kerámia tégely

â Egyéb egyedi kerámia alkatrészek