1x2" grafit ostya szuszceptorok

A félvezető lapkagyártás során az epitaxiális réteget fel kell növeszteni az ostyahordozón a félvezető eszközök későbbi gyártásához. Mivel az epitaxiális növekedési folyamat nagyon érzékeny a hőmérséklet-ingadozásokra és a szennyeződésekre, a megbízhatóostya szuszceptorokkritikusan fontosak. Az ostya epitaxiális folyamatának nélkülözhetetlen támasztó részeiként a megmunkálási pontosság, a hőkezelési képesség és a szennyeződésekkel szembeni ellenálló képesség kulcsfontosságú tényező a jó minőségű lapka epitaxiális növekedés eléréséhez.

A Semicorex 1x2" grafit lapka szuszceptorok funkciói

Az ultrafinom szemcsés, nagy tisztaságú grafit mátrixaként speciális eljárásokkal sűrű szilícium-karbid bevonattal készült Semicorex 1x2" grafit lapka szuszceptorok a következő funkciókat látják el:

1.Biztonságos és elavult tartás

Semicorex 1x2"grafitAz ostya szuszceptorok precíziós megmunkálással és kezeléssel rendelkeznek, kivételes felületi síkságot és méretpontosságot biztosítanak. Ez biztosítja, hogy szilárdan rögzítve legyenek a megfelelő helyzetben, és stabil, lapos támasztófelületet biztosítanak az ostya epitaxiális növekedéséhez.

2. Precíziós, egyenletes hőelosztás

A grafit és SiC anyagok kiváló hővezető képességével a Semicorex 1x2" grafit lapka szuszceptorok gyors és egyenletes hőeloszlást biztosítanak a félvezető anyagon. A hőmérsékleti gradiensek minimalizálásával a Semicorex 1x2" grafit lapka szuszceptorok hatékonyan elkerülhetik az olyan problémákat, mint az egyenetlen epitaxiális minőség és feszültségkoncentráció.

A Semicorex szilícium-karbid bevonat előnyei

1. Kiváló korrózióállóság

A sűrű szilícium-karbid bevonattal borított Semicorex 1x2" grafit lapka szuszceptorok hatékonyan ellenállnak a legtöbb vegyi anyagnak, így alkalmasak olyan erősen korrozív működési körülmények között történő alkalmazásokra, ahol az anyag gyakran van kitéve korrozív gázoknak és vegyi gőzöknek.

2. Alacsony részecskevesztés

Semicorexszilícium-karbid bevonatnagy kötési szilárdsággal rendelkezik a grafit mátrixszal, ami jelentősen elkerülheti az aljzat szennyeződésének kockázatát a bevonat korrózió miatti leválása és a nagy korróziós környezet által okozott részecskekiesés miatt.

3. Megbízható élettartam

Bár a grafitmátrixok kiváló termikus stabilitást és mechanikai szilárdságot mutatnak, hajlamosak a korrózióra és porlódásra az epitaxiális folyamat működési körülményei között, ami nagymértékben lerövidíti a bevonat nélküli grafitmátrixok élettartamát. A grafitmátrixok sűrű SiC bevonattal való teljes tokozásával 1×2"-es grafit ostya szuszceptoraink kiváló és megbízható tartósságot érnek el.

A Semicorex SiC bevonat anyagadatai